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CoPt－酸化物グラニュラ膜の高一軸結晶磁気異方性エネルギー（Ku）化のため、積層欠陥の排除と原子層組成変調構造を導入したCoPt－酸化物グラニュラ膜の検討を行った。CoPt合金の高Ku化については、CoPt合金のPtの一部をRhに置換することや原子層組成変調構造を導入したCo80Pt20合金によって、Kuは最大約10倍に増大した。CoPt－酸化物グラニュラ膜の作製プロセス技術については、プロセス中の不純物ガス（H2Oなど)、成膜ガス圧と膜組成の関係を明らかにした。さらには、酸素組成をO/Si=2に調整可能な新しいタイプのスパッタリング・ターゲットの開発も行った。
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