研究課題
基盤研究(C)
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は高硬度、高耐摩耗性、低摩擦係数、高化学安定性、高生体親和性、高赤外線透過性などの特徴を有しており、保護膜、固体潤滑膜などへの応用が進められている。本研究では、従来のDLC膜に比べて摩擦摩耗特性、熱的安定性などが向上するシリコン(Si)および窒素(N)を共添加したDLC膜の研究開発を行った。また、膜特性と組成・化学結合状態・構造との相関関係を調べることで、DLCの機能を更に高度化させるための基礎的知見を得た。
薄膜工学
