| 研究課題/領域番号 |
24560861
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
構造・機能材料
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| 研究機関 | 東洋大学 |
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研究代表者 |
花尻 達郎 東洋大学, 理工学部, 教授 (30266994)
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| 研究分担者 |
前川 透 東洋大学, 理工学部, 教授 (40165634)
中島 義賢 東洋大学, 学際・融合科学研究科, 准教授 (40408993)
水木 徹 東洋大学, 学際・融合科学研究科, 准教授 (80408997)
東 利晃 東洋大学, バイオ・ナノエレクトロニクス研究センター, 研究助手 (90624742)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| キーワード | SPM / μ-TAS / SOQ / SOI / GO / rGO |
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| 研究成果の概要 |
本研究の中核技術として、ソフトリソグラフィー用の高性能走査プローブ顕微鏡（SPM）について真の原子分解能を有する事実上唯一の次世代高速SPM「原子分解能多機能走査プローブ顕微鏡」を開発、整備することに成功した。また、ソフトリソグラフィーのための基板表面被覆材料の一つとして、シリコンゴムや、他にもグラフェンおよびその関連物質に着目し、基礎物性評価を行なうと共に、シリコン配線を行なうための、条件の最適化を試みた。更にソフトリソグラフィーのためのプラットフォームとして我々が着目するSOI基板やSOQ基板内の電界について等角写像を用いた数学モデルによって、その振舞いを解析することに成功した。
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| 自由記述の分野 |
ナノエレクトロニクス
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