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2012 年度 実施状況報告書

フレキシブルレーザ照射システムによる電子セラミックス薄膜の誘電率向上に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 24560881
研究種目

基盤研究(C)

研究機関大阪大学

研究代表者

阿部 信行  大阪大学, 接合科学研究所, 准教授 (90127176)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワードプラズマ処理・レーザー加工
研究概要

光ファイバー結合型高輝度半導体レーザを複数個用いたフレキシブルラインビームシステムの設計・試作とシステムの特性評価
・ファイバー結合型半導体レーザの現状調査と国内外各社製品の出力、ビーム特性及び価格の比較を行い、古河電工㈱製の25W級半導体レーザ24本を使用することに決定した。
・当初計画していた球面平凸レンズ、平凹シリンドリカルレンズ、平凸シリンドリカルレンズを用いる組み合わせレンズ方式では光学系が複雑で高価なことと、選定したレーザのビーム特性に対する整合性がよくないため、よりシンプルで安価な平凸レンズのみで集光する光学系を用いる方式で再設計を行った。その結果、当初予定していたビーム幅の狭い精密なラインビームは得られないかわりに、ビームプロファイルをさらにフレキシブルに変化させられ、1点集光から3mmのライン形状まで得ることができることがわかり、新しい設計に基づいて試作を行った。
・パワーメータとビームプロファイラを用いて、試作したフレキシブルラインビームシステムの特性評価を行った結果、出力600W、ビーム長3mm、パワー密度60kW/cm2のラインビームが形成できることを確認した。当初の計画のビーム長1.8mm、パワー密度50kW/cm2と比べると、同等のパワー密度でほぼ1.5倍のビーム長が得られることがわかった。
・本システムは、基本的には24個の集光点の合成であるため、現在、加熱用熱源としてどのくらいのビーム長までレーザ強度の平坦性が維持できるかの検討を行っている。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

・集光方式を当初計画より変更した結果、集光系の費用が安くなり、代わりに半導体レーザの個数を増加させることができ、結果的には同等のパワー密度で約1.5倍のビーム長を得ることができた。
・新しい集光方式はラインビーム以外にも集光が可能で、よりフレキシブルなシステムになり、より多くの応用分野への展開が期待できる。

今後の研究の推進方策

・試作装置の学会発表
・熱処理解析シミレーション法の開発
・試作装置を用いた熱処理実験

次年度の研究費の使用計画

・熱処理実験用試料(チタン酸バリウム等)等の購入

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公開日: 2014-07-24  

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