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赤外線窓材であるZnSeを低温高速成膜するために，2000℃程度のホットワイヤ（HW）で生成した原子状水素で有機アルキル金属を分解する成膜法：HW-MOCVDを研究した。HWはプラズマと比較して大量の原子状水素を生成できるが，タングステンのHWが原料ガスや基板からの脱離ガスに晒されると，反応によって傷んだり，酸化して蒸発したりする。また，HWからの輻射によって基板が過熱される。このような問題を解決する「リモート型HW装置」を新たに開発した。開発した装置の基本特性を取得し，意図した通りに動作することを確認した。ZnSeのソースとしてジエチルZnとジメチルSeを選択し，ZnSeの成膜を確認した。
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