2013 年度研究成果報告書

イオン液体を用いたＭＥＭＳマイクロイオン源の研究

研究課題

研究課題/領域番号	24651157
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	補助金
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東北大学
研究代表者	桑野博喜東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50361118)
研究分担者	原基揚東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (00417966)
研究期間 (年度)	2012-04-01 – 2014-03-31
キーワード	マイクロファブリケーション
研究概要	成果を列挙する。１）500μm間隔で25(5X5)個の先端半径50nm以下、エミッタ半径50μm、高さ150μmのマルチマイクロエミッタを作製するマイクロマシニング技術を開発した。２）作製したマルチマイクロエミッタを用いてイオン液体（１エチル３メチルイミダゾィウムテトラフルオロボレート([EMIM]-[BF4])からイオンビームを形成することに成功した。３）マルチマイクロエミッタから引き出されたマイクロイオンビームによりSi基板が化学的にエッチングされることを確認した。