グラフェン／金属電極間の界面制御による短チャネルグラフェン電界効果素子

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 24651166
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: マイクロ・ナノデバイス
• 研究機関: 筑波大学
• 研究代表者: 神田 晶申 筑波大学, 数理物質系, 准教授 (30281637)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• キーワード: ナノ電子デバイス / グラフェン

研究概要

炭素の単原子膜であるグラフェンは高い移動度を示すので次世代の高速トランジスタ材料として有望視されているが、素子を微小化すると、実効的な移動度が著しく低下するという欠点がある。これは電極からグラフェンにキャリアが注入されるためである。我々は、さまざまな電極金属について電極接続の影響を調べた。また、電極とグラフェンの界面にアモルファスカーボンを挿入することで電極接続の影響を除去することに成功した。

研究成果

• [雑誌論文] Surface morphology of multilayer graphene synthesized directly on silicon dioxide (2013)
  • 著者名/発表者名: Kenta Katakura, Hikari Tomori, Youiti Ootuka, and Akinobu Kanda
  • 雑誌名: Phys. Status Solidi C 巻: Vol.10 ページ: 1628-1631
  • DOI: 10.1002/pssc.201300285
  • 査読あり
• [学会発表] Reducing Carrier Density Pinning at Graphene/Metal Interfaces Using Interfacial Multilayer Graphene (2014)
  • 著者名/発表者名: Akinobu Kanda
  • 学会等名: APS March Meeting 2014
  • 発表場所: Denver (USA)
  • 年月日: 2014-03-07
• [学会発表] Reducing Carrier Density Pinning at Graphene/Metal Interfaces Using Multi-layer Graphene (2013)
  • 著者名/発表者名: Akinobu Kanda
  • 学会等名: 2013 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2013)
  • 発表場所: Fukuoka (Japan)
  • 年月日: 2013-09-27
• [学会発表] グラフェン/金属電極界面に多層グラフェンを挿入したグラフェン電界効果トランジスタの電気伝導評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 片倉健太
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学(京都)
  • 年月日: 2013-09-18
• [学会発表] グラフェン電界効果トランジスタにおける電界効果移動度のチャンネル長依存性 (2013)
  • 著者名/発表者名: 伊藤優
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学(京都)
  • 年月日: 2013-09-18
• [学会発表] Fabrication and transport measurement of graphene field effect devices with multilayer graphene inserted into graphene/metal interfaces (2013)
  • 著者名/発表者名: Kenta Katakura
  • 学会等名: 5th International Conference on Recent Progress in Graphene Research (RPGR2013)
  • 発表場所: Tokyo (Japan)
  • 年月日: 2013-09-12
• [学会発表] Channel length dependence of field effect mobility in short-channel graphene field-effect devices (2013)
  • 著者名/発表者名: Yu Ito
  • 学会等名: 5th International Conference on Recent Progress in Graphene Research (RPGR2013)
  • 発表場所: Tokyo (Japan)
  • 年月日: 2013-09-12
• [学会発表] Surface morphology of few-layer graphene synthesized directly on silicon dioxide (2013)
  • 著者名/発表者名: Akinobu Kanda
  • 学会等名: The 40th International Symposium on Compound Semiconductors
  • 発表場所: Kobe (Japan)
  • 年月日: 2013-05-22
• [図書] Experimental approaches to graphene electron transport for device applications, in "Physics and Chemistry of Graphene : Nanographene to Graphene" (2013)
  • 著者名/発表者名: Akinobu Kanda(edited by T. Enoki)
  • 総ページ数: 89-205(460 pages)
  • 出版者: Pan Stanford Publishing
• [図書] Gate-Voltage Modulation in Graphene, in "Graphene and its Fascinating Attributes" (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Tsukagoshi, H. Miyazaki, S.-L. Li, A. Kumatani, H. Hiura, A. Kanda(edited by S. K. Pati, T. Enoki, & C. N. R. Rao)
  • 総ページ数: 179-188(270 pages)
  • 出版者: World Scientific Publishing
• [備考]
  • URL: http://lt.px.tsukuba.ac.jp/staff/kanda/index.html