研究課題/領域番号 |
24651168
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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研究機関 | 静岡大学 |
研究代表者 |
池田 浩也 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (00262882)
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研究分担者 |
早川 泰弘 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (00115453)
下村 勝 静岡大学, 工学研究科, 准教授 (20292279)
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研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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キーワード | 熱電変換 / ベルチェ冷却 / ナノワイヤ / 量子効果デバイス |
研究成果の概要 |
本研究は,量子効果デバイスを高温動作できるようにするために,熱電変換現象を利用した冷却基板(ナノフリーザ基板)の開発を目指して行われた.冷却機能の高効率化が期待できるシリコン・ゲルマニウム混合材料について,熱電変換の重要な物性値であるゼーベック係数(温度差を1℃与えたときに発生する熱起電力)を調べた.ゼーベック係数は,電子が寄与する成分と格子振動が寄与する成分があるが,格子振動による成分を決定する物性的要因を明らかにした.また,実際のデバイスを作製するためのプロセス技術を提案し,その基礎データを収集した.
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自由記述の分野 |
半導体量子物性
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