• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2012 年度 実施状況報告書

極限ナノ非平衡プラズマの生成と応用への挑戦

研究課題

研究課題/領域番号 24654186
研究種目

挑戦的萌芽研究

研究機関東北大学

研究代表者

畠山 力三  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 名誉教授 (00108474)

研究分担者 金子 俊郎  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30312599)
加藤 俊顕  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (20502082)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワードナノスケールプラズマ / ナノバイオ融合 / 新概念プラズマ
研究概要

極限ナノ非平衡プラズマの生成と応用への挑戦に関する初年度計画に基づき, 以下の成果が得られた.
(1)極限ナノ非平衡プラズマ生成を実現するためには, プラズマ状態をナノスケール空間中に局在させる必要がある. つまり, ナノ空間中に十分な数の原子・分子を確保することが重要である. そこで, 通常の気体中放電ではなく, より原子・分子密度の高い溶液中を反応場とし, 溶液中におけるプラズマ生成装置の製作, 及び放電システムの確立を行った. 針状の電極を使用し, 高電圧パルスを印加することで, 溶液中においてもプラズマ生成が可能であることを確認した. また, 放電波形をオシロスコープを介して取得し解析可能なシステムの立ち上げを行った.
(2)ナノスケールでのプラズマ生成を実現するために, ナノ物質が放電触媒として作用することを期待している. そこで, この効果を実証するための実験を行った. なお今回の実験は, ナノ物質の放電触媒作用の有無評価が目的であるため, 計測が容易である大気中において行った. 針状電極の表面に炭素ナノ物質であるカーボンナノチューブを塗布し, カーボンナノチューブの有無に対する放電形態の変化を光学顕微鏡により観測した. その結果, カーボンナノチューブを針状電極に塗布することで微弱ストリーマ放電がカーボンナノチューブの周辺で頻繁に発生することを明らかとした. この現象はカーボンナノチューブを塗布しない場合には観測されないことから, ナノ物質がプラズマ生成に対して放電触媒として効果的に作用することを示しているものである. 今回の実験は大気中で行ったため, ナノチューブ周辺の微弱ストリーマ放電がミリメータスケールに拡散していたが, (1)で作製した溶液中での放電にカーボンナノチューブ触媒を利用することで, ナノスケールでの放電実現が期待できる.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

ナノスケールプラズマ生成用の実験装置を製作し測定システムの立ち上げを完了した. この点は研究計画通りに進展している. またカーボンナノチューブがナノスケールプラズマ生成の放電触媒として作用することを実証した点も, おおむね計画通りと言える.

今後の研究の推進方策

初年度の研究において, カーボンナノチューブが大気中において放電触媒として作用することを実証することに成功した. そこで次年度以降では, 初年度に製作した溶液中での放電システム中にカーボンナノチューブ電極を導入し, カーボンナノチューブの有無に対する放電波形の変化を詳細に解析することで, ナノスケールプラズマ生成の可能性を追求する. また, カーボンナノチューブの放電触媒作用を高める目的で, ナノチューブ表面へナノ粒子をコーティングした表面修飾ナノチューブを利用し, ナノスケールプラズマの安定生成を実現する.

次年度の研究費の使用計画

次年度使用額は, 今年度の研究を効率的に推進したことに伴い発生した未使用額であり, 平成25年度請求額とあわせ, 平成25年度の研究遂行に使用する予定である.

  • 研究成果

    (63件)

すべて 2013 2012

すべて 雑誌論文 (12件) (うち査読あり 12件) 学会発表 (46件) (うち招待講演 14件) 図書 (3件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Synthesis of Graphene Nanosheets from Petroleum Asphalt by Pulsed Arc Discharege in Water2013

    • 著者名/発表者名
      Y. F. Li
    • 雑誌名

      Chemical Engineering Journal

      巻: 215-216 ページ: 45-49

    • DOI

      10.1016/j.cej.2012.09.123

    • 査読あり
  • [雑誌論文] C59N Peapods Sensing the Temperature2013

    • 著者名/発表者名
      Y. F. Li
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 13 ページ: 966-974

    • DOI

      10.3390/s130100966

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical Transport Properties of Boron-Doped Single-Walled Carbon Nanotubes2013

    • 著者名/発表者名
      Y. F. Li
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 113 ページ: 054313-1-6

    • DOI

      org/10.1063/1.4790505

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Control of C60 Behavior for High Yield Synthesis of N@C60 in RF-Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      C. Cho
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: 37 ページ: 169-172

    • DOI

      J-GLOBAL 201202207011418784

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Reductants in Gold Nanoparticle Synthesis Using Gas-Liquid Interfacial Discharge Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      Q. Chen
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 5 ページ: 086201-1-3

    • DOI

      10.1143/APEX.5.086201

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Performance Enhancement of Solar Cells Based on Single-Walled Carbon Nanotubes by Au Nanoparticles2012

    • 著者名/発表者名
      Y. F. Li
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 101 ページ: 083901-1-3

    • DOI

      org/10.1063/1.4739427

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis of Superfine Ethanol-Soluble CoO Nanoparticles via Discharge Plasma in Liquid2012

    • 著者名/発表者名
      Q. Chen
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 5 ページ: 096201-1-3

    • DOI

      10.1143/APEX.5.096201

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Site- and Alignment-Controlled Growth of Graphene Nanoribbons from Nickel Nanobars2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 雑誌名

      Nature Nanotechnology

      巻: 7 ページ: 651-656

    • DOI

      10.1038/nnano.2012.145

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Direct Growth of Doping-Density-Controlled Hexagonal Graphene on SiO2 Substrate by Rapid-Heating Plasma CVD2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 雑誌名

      ACS Nano

      巻: 6 ページ: 8508-8515

    • DOI

      10.1021/nn302290z

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation of Endohedral Fullerene Containing Lithium (Li@C60) and Isolation as Pure Hexafluorophosphate Salt ([Li+@C60][PF6-])2012

    • 著者名/発表者名
      H. Okada
    • 雑誌名

      RSC Advances

      巻: 2 ページ: 10624-10631

    • DOI

      10.1039/C2RA21244G

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Creation of Nanoparticle-Nanotube Conjugates for Life-Science Application Using Gas-Liquid Interfacial Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 ページ: 11PJ03-1-6

    • DOI

      10.1143/JJAP.51.11PJ03

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Control of Nanoparticle Synthesis Using Physical and Chemical Dynamics of Gas-Liquid Interfacial Non-Equilibrium Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko
    • 雑誌名

      Plasma Physics and Controlled Fusion

      巻: 54 ページ: 124027-1-6

    • DOI

      10.1088/0741-3335/54/12/124027

    • 査読あり
  • [学会発表] Direct growth and integration of graphene nanoribbon2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      厚木市
    • 年月日
      20130327-20130330
  • [学会発表] Fabrication of Thin Film Single-Walled Carbon Nanotubes PN Junction Diode with Cs Plasma Irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      安彦 嘉浩
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      厚木市
    • 年月日
      20130327-20130330
  • [学会発表] 電子温度勾配モード飽和に起因するドリフト波モード変調に対する非線形結合の効果2013

    • 著者名/発表者名
      文贊鎬
    • 学会等名
      日本物理学会第68回年次大会
    • 発表場所
      東広島市
    • 年月日
      20130326-20130329
  • [学会発表] Integration of high performance graphene nanoribbon field effect transistors2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      The 44th Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      20130311-20130313
  • [学会発表] Selective synthesis of large amount of (6, 5) single-walled carbon nanotubes using pulse plasma CVD2013

    • 著者名/発表者名
      K. Murakoshi
    • 学会等名
      The 44th Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      20130311-20130313
  • [学会発表] 基礎プラズマ実験装置による磁化プラズマ揺動非線形結合解析2013

    • 著者名/発表者名
      金子 俊郎
    • 学会等名
      第16回若手科学者によるプラズマ研究会
    • 発表場所
      那珂市
    • 年月日
      20130304-20130306
    • 招待講演
  • [学会発表] Control of Plasma Potential and Fullerene Clustering for High Yield Synthesis of Nitrogen Endohedral Fullerene2013

    • 著者名/発表者名
      S. C. Cho
    • 学会等名
      第5回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム(ISPlasma 2013)
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      20130128-20130201
  • [学会発表] Fabricaton of Stable N-Type Thin Film Transistors with Cs-Encapsulated Single-Walled Carbon Nanotubes Made by Plasma Irradiation Method2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Abiko
    • 学会等名
      第5回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム(ISPlasma 2013)
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      20130128-20130201
  • [学会発表] Structure-Controlled Synthesis of Fullerenes and Carbon Nanotubes Using Plasma Technology2013

    • 著者名/発表者名
      R. Hatakeyama
    • 学会等名
      2013 Workshop on Plasma & Nano Technology
    • 発表場所
      Chuncheon (Korea)
    • 年月日
      20130128-20130129
    • 招待講演
  • [学会発表] Growth and Functionalization of Graphene and Graphene Nanoribbon by Advanced Plasma Technology2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      2013 Workshop on Plasma & Nano Technology
    • 発表場所
      Chuncheon (Korea)
    • 年月日
      20130128-20130129
    • 招待講演
  • [学会発表] Mass Production of Narrow-Chirality Distributed Single-Walled Carbon Nanotubes by Diffusion Plasma CVD2013

    • 著者名/発表者名
      K. Murakoshi
    • 学会等名
      第30回プラズマプロセシング研究会 (SPP-30)
    • 発表場所
      浜松市
    • 年月日
      20130121-20130123
  • [学会発表] pn-Junction Embedded Carbon Nanotube Thin Film Solar Cells2013

    • 著者名/発表者名
      R. Hatakeyama
    • 学会等名
      第5回革新的太陽光発電国際シンポジウム
    • 発表場所
      つくば市
    • 年月日
      20130121-20130122
  • [学会発表] Growth and Integration of Graphene Nanoribbon by Rapid-Heating Plasma Chemical Vapor Deposition2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      The Second International Conference on Small Science (ICSS 2012)
    • 発表場所
      Orlando (USA)
    • 年月日
      20121216-20121219
    • 招待講演
  • [学会発表] Controllable Growth of Graphene Nanoribbon by Advanced Plasma Chemical Vapor Deposition2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      2nd International Conference on Nanotek and Expo
    • 発表場所
      Philadelphia (USA)
    • 年月日
      20121203-20121205
    • 招待講演
  • [学会発表] 酸化プラズマ中電子温度勾配駆動不安定揺動間の非線形結合の固定2012

    • 著者名/発表者名
      文贊鎬
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 第29回年会
    • 発表場所
      春日市
    • 年月日
      20121127-20121130
  • [学会発表] Controllable Graphene Growth Using Novel Plasma Catalytic Deposition2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      34rd International Symposium on Dry Process (DPS2012)
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      20121115-20121116
    • 招待講演
  • [学会発表] Biocompatible Nanocomposites Synthesized by Gas-Liquid Phases Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko and R. Hatakeyama
    • 学会等名
      AVS (American Vacuum Society) 59th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Florida (USA)
    • 年月日
      20121028-20121102
    • 招待講演
  • [学会発表] Electrical property evaluation of Cs encapsulated single-walled carbon nanotubes thin film transistors2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Abiko
    • 学会等名
      11th APCPST & 25th SPSM Plasma Science and Technology towards Innovation and Business
    • 発表場所
      京都市
    • 年月日
      20121002-20121005
  • [学会発表] Wire-shaped nanoparticle structure formed on ionic liquid film using controlled plasma reduction2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko
    • 学会等名
      11th APCPST & 25th SPSM Plasma Science and Technology towards Innovation and Business
    • 発表場所
      京都市
    • 年月日
      20121002-20121005
  • [学会発表] Suppression of electron temperature gradient mode and drift wave mode via controlled EXB velocity shears in magnetized plasma2012

    • 著者名/発表者名
      C. Moon
    • 学会等名
      11th APCPST & 25th SPSM Plasma Science and Technology towards Innovation and Business
    • 発表場所
      京都市
    • 年月日
      20121002-20121005
  • [学会発表] Biocompatible Nanocomposites Synthesized by Gas-Liquid Phases Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko
    • 学会等名
      AVS 59th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Florida (USA)
    • 年月日
      20121002-20121005
  • [学会発表] Advanced Plasma CVD for Structural-Controlled Growth of Single-Walled Carbon Nanotube and Graphene2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)
    • 発表場所
      横浜市
    • 年月日
      20120923-20120928
    • 招待講演
  • [学会発表] Control of Plasma Potential for High Yield Synthesis of N@C60 in RF Plasma and Properties of N@C60 Under the UV-irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      S. C. Cho
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies-International Cenference on Electronic Materials 2012 (IUMRS-ICEM 2012)
    • 発表場所
      横浜市
    • 年月日
      20120923-20120928
  • [学会発表] Synthesis of Structure-Controlled Gold-Nanoparticles Using Physical and Chemical Reactions of Gas-Liquid Interfacial Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies-International Cenference on Electronic Materials 2012 (IUMRS-ICEM 2012)
    • 発表場所
      横浜市
    • 年月日
      20120923-20120928
  • [学会発表] リーディング学際プラズマを目指して2012

    • 著者名/発表者名
      畠山力三
    • 学会等名
      第6回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール「プラズマ生成から応用まで」
    • 発表場所
      御殿場市
    • 年月日
      20120919-20120921
    • 招待講演
  • [学会発表] プラズマCVDによる原子置換単層カーボンナノチューブの創製及び電気特性評価2012

    • 著者名/発表者名
      村越幸史
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      松山市
    • 年月日
      20120911-20120914
  • [学会発表] High Purity Nitrogen Atom Endohedral Fullerenes Synthesized by High Power RF Plasma under the Control of Plasma Potential2012

    • 著者名/発表者名
      S. C. Cho
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      松山市
    • 年月日
      20120911-20120914
  • [学会発表] Synthesis of Structure-Controlled Gold-Nanoparticles Using Ions and Radicals of Gas-Liquid Interfacial Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      松山市
    • 年月日
      20120911-20120914
  • [学会発表] 強磁場中の気液界面プラズマ流によるナノ粒子空間構造制御合成2012

    • 著者名/発表者名
      金子俊郎
    • 学会等名
      日本機械学会2012年度年次大会
    • 発表場所
      金沢市
    • 年月日
      20120909-20120912
  • [学会発表] Fabrication of Nitrogen Substituted Single-Walled Carbon Nanotubes by Diffusion Plasma Reaction and Their Elctrical Transport Properties2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      20120905-20120907
  • [学会発表] Direct Growth of Hexagonal Domain Graphene on SiO2 Substrate2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      20120905-20120907
  • [学会発表] Pulse Plasma CVD for Mass Production of Narrow-Chirality Distributed Single-Walled Carbon Nanotubes2012

    • 著者名/発表者名
      K. Murakoshi
    • 学会等名
      第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      20120905-20120907
  • [学会発表] Fabrication of Stable p-n Junction Diode with Cs Encapsulated Single-Walled Carbon Nanotubes2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Abiko
    • 学会等名
      第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      20120905-20120907
  • [学会発表] Enhancement of nitrogen encapsulation into fullerene under control of plasma potential2012

    • 著者名/発表者名
      S. C. Cho
    • 学会等名
      第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      20120905-20120907
  • [学会発表] Synthesis of carbon nanotubes conjugated with distance-controlled nanoparticles using gasliquid interfacial plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko
    • 学会等名
      第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      20120905-20120907
  • [学会発表] Fabrication of n-Type Thin Film Transistor with Cs Encapsulated Single-Walled Carbon Nanotubes2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Abiko
    • 学会等名
      平成24年度電気関係学会東北支部連合大会
    • 発表場所
      由利本荘市
    • 年月日
      20120830-20120831
  • [学会発表] Synthesis of Structure-Controlled Gold-Nanoparticles Using Geometric Structure of Gas-Liquid Interfacial Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      高橋祥平
    • 学会等名
      平成24年度電気関係学会東北支部連合大会
    • 発表場所
      由利本荘市
    • 年月日
      20120830-20120831
  • [学会発表] Gene Transfer System Using Carbon Nanotube Assisted by Gas-Liquid Interfacial Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko
    • 学会等名
      The 2nd International Symposium of Plasma Biosciences
    • 発表場所
      Seoul (Korea)
    • 年月日
      20120813-20120814
    • 招待講演
  • [学会発表] 直線型磁化プラズマにおける電子温度勾配モードとドリフト波モードの非線形結合解析2012

    • 著者名/発表者名
      文贊鎬
    • 学会等名
      プラズマパルスパワー合同研究会
    • 発表場所
      盛岡市
    • 年月日
      20120808-20120810
  • [学会発表] プラズマ応用ナノカーボンナノバイオメディトロニクス2012

    • 著者名/発表者名
      畠山力三
    • 学会等名
      東京都市大学「ナノカーボンバイオデバイス研究センター成果報告会/メディカルプラズマシンポジウム」
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      20120706-20120706
    • 招待講演
  • [学会発表] 磁化プラズマ中電子温度勾配モードとドリフト波揺動の非線形結合解析2012

    • 著者名/発表者名
      文贊鎬
    • 学会等名
      第9回核融合エネルギー連合講演会
    • 発表場所
      神戸市
    • 年月日
      20120628-20120629
  • [学会発表] Fabrication and Functionalization of Graphene by Advanced Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      CNTNE 2012 (International Symposium on Carbon Nanotube Nanoelectronics),
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      20120611-20120613
  • [学会発表] Plasma-Processed Growth and Functionalization of Single-Walled Carbon Nanotubes2012

    • 著者名/発表者名
      R. Hatakeyama
    • 学会等名
      CNTNE 2012 (International Symposium on Carbon Nanotube Nanoelectronics)
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      20120611-20120613
  • [学会発表] イオン液体を用いたプラズマプロセス2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko
    • 学会等名
      平成24年 イオン液体研究会 「新しいイオン液体研究の潮流」
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      20120525-20120525
    • 招待講演
  • [学会発表] Controlled Functionalization of Carbon Nanotubes with Nanoparticles Using Gas-Liquid Interfacial Discharge Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko
    • 学会等名
      The Spring 221st ECS (Electrochemical Society) Meeting
    • 発表場所
      Seattle (USA)
    • 年月日
      20120506-20120511
    • 招待講演
  • [学会発表] Creation of Novel Nano-Bio Conjugate Using Gas-Liquid Phases Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko
    • 学会等名
      2012 MRS (Material Research Society) Spring Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      サンフランシスコ (アメリカ)
    • 年月日
      20120409-20120413
    • 招待講演
  • [図書] Nanoelectronic Device Applications Handbook2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kato, R. Hatakeyama, and Y. Osanai
    • 総ページ数
      940 (499-502)
    • 出版者
      CRC Press (Taylor & Francis Group)
  • [図書] Recent Progress in Carbon Nanotube Research2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and R. Hatakeyama
    • 総ページ数
      89-108
    • 出版者
      InTech
  • [図書] Ionic Liquids - New Aspects for the Future2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko, S. Takahashi, and R. Hatakeyama
    • 総ページ数
      617-631
    • 出版者
      InTech
  • [産業財産権] グラフェン構造体及びそれを用いた半導体装置並びにそれらの製造方法2012

    • 発明者名
      畠山力三, 加藤俊顕
    • 権利者名
      畠山力三, 加藤俊顕
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2011-264157
    • 出願年月日
      2012-12-28
  • [産業財産権] 農業用駆除方法及びそれに用いるプラズマ装置2012

    • 発明者名
      畠山力三, 加藤俊顕
    • 権利者名
      畠山力三, 加藤俊顕
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2012-289269
    • 出願年月日
      2012-12-30

URL: 

公開日: 2014-07-24  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi