シリコン太陽電池並みのエネルギー変換効率が期待できる有機薄膜太陽電池として,p型/n型有機半導体がナノスケールで櫛歯状に相互貫入した3次元ナノ櫛歯構造が提案されているが,ナノ櫛歯構造への有機分子充填技術がなく実現されていない。本研究では,研究代表者が独自に開発した,超臨界流体を用いた有機分子充填技術(TSFD)を発展させ,3次元ナノ櫛歯型有機薄膜太陽電池形成プロセスの構築を目指した。本手法は超臨界流体及び基板の温度制御が肝要であり,これらを独立して制御できる製膜容器を新たに作製し,基板温度や流量など各種依存性を検討した。最終的には,開口幅1μm,深さ10μmの深遠な構造への充填に成功した。
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