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2012 年度 研究成果報告書

InGaN窒化物三元混晶のHVPE成長は可能か?

研究課題

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研究課題/領域番号 24656011
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関東京農工大学

研究代表者

纐纈 明伯  東京農工大学, 大学院・工学研究院, 教授 (10111626)

研究期間 (年度) 2012
キーワード窒化物半導体 / InGaN, HVPE成長,原料分子制御 / 気相成長 / エピタキシャル成長
研究概要

省エネルギー社会のキーマテリアルであるInGaN窒化物三元混晶の新しい気相成長方法を用いて、現在成長が不可能なIn_xGa_1-_xNの(1)高品質結晶の成長、(2)高速・厚膜成長および(3)全組成領域の成長を実現する。
In_xGa_1-_xN混晶は、組成(x)を制御することによりバンド端エネルギーを紫外領域(365nm)から赤外領域(1900nm)まで変化が可能な大きな潜在能力を持つことから、高効率LEDやLDの発光材料さらに太陽光の全範囲の吸収が可能な高変換太陽電池材料として注目されている。しかし、この材料はIn組成20%以上の結晶成長が非常に難しく、そのため高品質InGaNの成長に成功した例は世界的に無い。本研究の新しい成長方法によりInGaNの成長が可能なことを見出した。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (6件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Effects of substrate nitridation and buffer layer on the crystalline improvements of semi-polarInN(10-13) crystal on GaAs(110) by MOVPE2013

    • 著者名/発表者名
      H. C. Cho, H. Murakami, Y. Kumagai and A. Koukitu
    • 雑誌名

      J. Crystal Growth

      巻: vol. 367 ページ: 122-125

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Suppression of twin formation for the growth of InN(10-1-3) on GaAs(110) by metalorganic vaporphase epitaxy2012

    • 著者名/発表者名
      H. Murakami, K. Kumagai and A. Koukitu
    • 雑誌名

      Physica Status Solide C

      巻: vol.10 ページ: 472-475

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thermodynamic analysis of InGaN-HVPE growth using group-III chlorides, bromides, and iodides2012

    • 著者名/発表者名
      T. Hirasaki, H. Murakami, Y. Kumagai and A. Koukitu
    • 雑誌名

      Physica Status Solide C

      巻: vol.10 ページ: 413-416

    • 査読あり
  • [学会発表] Thermodynamic analysis of HVPE -Is it possible to grow InGaN by HVPE?-2013

    • 著者名/発表者名
      A. Koukitu
    • 学会等名
      2012 Meijo International Symposium on Nitride Semiconductors (Invited)
    • 発表場所
      Meijo University
    • 年月日
      2013-02-28
  • [学会発表] HVPE growth of the group III nitrides for bulk growth -from thermodynamic analysis to crystalgrowth?2013

    • 著者名/発表者名
      A. Koukitu
    • 学会等名
      12th Akasaki esearch Center Symposium (Invited)
    • 発表場所
      Nagoya University
    • 年月日
      2013-02-27
  • [学会発表] Thermodynamic analysis of InGaN-HVPE growth using III-bromides and III-iodides2012

    • 著者名/発表者名
      T. Hirasaki, H. Murakami, Y. Kumagai and A. Koukitu
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Growth of III-Nitrides
    • 発表場所
      Hotel St. Petersburg, Russia
    • 年月日
      2012-07-17
  • [学会発表] GaAs(311)A及び(311)B上半極性InNのMOVPE成長2012

    • 著者名/発表者名
      堀田哲郎、村上尚、熊谷義直、纐纈明伯
    • 学会等名
      第4回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      東京大学生産技術研究所
    • 年月日
      2012-04-28
  • [学会発表] 様々なハロゲン化合物を用いたInGaN-HVPE成長の熱力学解析2012

    • 著者名/発表者名
      平崎貴英、花岡幸史、村上尚、熊谷義直、纐纈明伯
    • 学会等名
      第4回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      東京大学生産技術研究所
    • 年月日
      2012-04-28
  • [学会発表] GaAs(110)基板上半極性InN成長における水素添加効果2012

    • 著者名/発表者名
      村上尚、堀田哲郎、富樫理恵、熊谷義直、纐纈明伯
    • 学会等名
      第4回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      東京大学生産技術研究所
    • 年月日
      2012-04-28
  • [備考]

    • URL

      http://koukitu-lab.jpn.org/

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公開日: 2014-09-25  

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