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2012 年度 実施状況報告書

非線形誘電率顕微鏡を用いた原子双極子モーメントの可視化と原子種の同定

研究課題

研究課題/領域番号 24656027
研究種目

挑戦的萌芽研究

研究機関東北大学

研究代表者

長 康雄  東北大学, 電気通信研究所, 教授 (40179966)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード走査型非線形誘電率顕微鏡 / 原子双極子モーメント
研究概要

研究目的達成のため,まず初年度は本研究目的に添った研究が遂行できるように原子分解能をもつ超高真空非線形誘電率顕微鏡の改造・性能アップを図った.具体的には以下のような項目の研究を行った.
①NC-SNDMは高次非線形誘電計測から原子の位置を検出し更に最低次非線形誘電計測で誘電分極(今回議論する領域では原子双極子モーメント)を計測するが,今回は特に一つの原子を特定して非線形誘電率信号を取得できるようにするためにこのため現有のアナログ式顕微鏡コントローラをデジタル化する改造を行った.この結果プローブティップをベクトルスキャンできるようにした.
②上記①で整備した,デジタル方式でプローブティップの位置を任意にコントロールできる超高分解能・走査型非線形誘電率顕微鏡に,計測中の画像のドリフトの抑制並びに単一原子の長時間観測のためのアトムトラッキング法技術を付加した.
③超高真空・高分解能・走査型非線形誘電率顕微鏡を用い,まずその性能評価のため,水素を付加したシリコン(111)面7x7構造を作製しその表面の観測を行った.その結果,最低次非線形誘電率信号及び高次非線形誘電率信号共にが水素の吸着点でのみ変化することを明らかにし,単一原子の原子双極子モーメントの変化を実験的に検証した.更に酸素吸着も行い一部ではあるが酸素吸着による非線形誘電率信号の変化も検出した.
④更に平均トンネル電流と双極子モーメント信号が関連あることを見出した.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

Si(111)7X7構造に水素のみならず酸素も吸着しその吸着点での非線形誘電率信号の検出に成功した.更に平均トンネル電流と双極子モーメント信号が関連あることを見出した.

今後の研究の推進方策

静電容量計測で原子分解能が発現する詳細なメカニズムを明らかにする為の研究を行う.具体的には,古典的電磁気学では原子分解能が発現する事は既に証明されているが実際には古典論は破綻している領域の分解能を議論しているので,量子力学的観点から極微小な領域の静電容量を検討し,原子分解能が得られるメカニズムを明らかにすす計算に着手する.
次に非線形誘電率信号と同時計測できるトンネル電流の高調波成分を用いて表面の双極子モーメントが作る電位を評価し,それと非線形誘電率信号による双極モーメント像が一致することを明らかにする.
また水素とは電気陰性度の異なる物質をシリコン表面に吸着させ発生する双極子モーメントを観測し,電気陰性度と原子双極子モーメントの間の関係を明らかにする.

次年度の研究費の使用計画

導電性カンチレバー,PrIr探針,計測用単結晶基板等の物品費,研究成果発表旅費,外国語論文の校閲費等に使用する.

  • 研究成果

    (17件)

すべて 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (11件) (うち招待講演 2件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Simultaneous measurement of tunneling current and atomic dipole moment on Si(111) –(7×7) surface by noncontact scanning nonlinear dielectric microscopy2013

    • 著者名/発表者名
      Kohei Yamasue, Yasuo Cho
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: Vol.113 ページ: 014307-1-8

    • DOI

      10.1063/1.4772705

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Visualization of Electrons Localized in Metal-Oxide-Nitride-Oxide-Semiconductor Flash Memory Thin Gate Films by Detecting High-Order Nonlinear Permittivity Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Koichiro Honda, Yasuo Cho,
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: vol.5 ページ: 036602-1-3

    • DOI

      10.1143/APEX.5.036602

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Observation of Nanoscale Ferroelectric Domains Using Super-Higher-Order Nonlinear Dielectric Microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Norimichi Chinone, Kohei Yamasue, Yoshiomi Hiranaga, Yasuo Cho
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: vol.51 ページ: 121801-1-7

    • DOI

      10.1143/JJAP.51.09LE07

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Atomic Scale Imaging of TiO2(100) Reconstructed Surfaces by Noncontact Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Nobuhiro Sawai, Kohei Yamasue, Yasuo Cho
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl Phys

      巻: vol.51 ページ: 121801-1-7

    • DOI

      10.1143/JJAP.51.121801

    • 査読あり
  • [雑誌論文] canning nonlinear dielectric microscopy observation of accumulated charges in metal-SiO2-SiN-SiO2-Si flash memory by detecting higher-order nonlinear permittivity2012

    • 著者名/発表者名
      Koichiro Honda, Yasuo Cho
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: Vol.101 ページ: 242101-1 -5

    • DOI

      10.1063/1.4769352

    • 査読あり
  • [学会発表] Atomic dipole moments on hydrogen-adsorbed Si(111)-7×7 surface observed by using noncontact scanning nonlinear dielectric microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Mizuno, Kohei Yamasue, Yasuo Cho
    • 学会等名
      The 20th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy
    • 発表場所
      Naha, Japan
    • 年月日
      20121217-20121219
  • [学会発表] Scanning nonlinear dielectric microscopy nano science and technology2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Cho
    • 学会等名
      2012 EMN Fall Meeting
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • 年月日
      20121129-20121202
    • 招待講演
  • [学会発表] Super Higher Order Nonlinear Dielectric Microscopy with Super High Resolution2012

    • 著者名/発表者名
      Norimichi Chinone, Kohei Yamasue, Yoshiomi Hiranaga Koichiro Honda, Yasuo Cho
    • 学会等名
      2012 MRS fall meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      20121125-20121130
  • [学会発表] Non-contact Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy Studies of Atomic Dipole Moments on Hydrogen-adsorbed Si(111)-7×7 Surface2012

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Mizuno, Kohei Yamasue, Yasuo Cho
    • 学会等名
      2012 MRS fall meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      20121125-20121130
  • [学会発表] Observation of Threshold Voltage Distribution of Transistors in a Metal-SiO2-SiN-SiO2-semiconductor Flash Memory Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy”2012

    • 著者名/発表者名
      Koichiro Honda, Yasuo Cho
    • 学会等名
      2012 MRS fall meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      20121125-20121130
  • [学会発表] Observing of charges stored in metal-oxide-nitride-oxide semiconductor flash memory by using higher order nonlinear dielectric microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      K. Honda, T. Iwai, Y. Cho
    • 学会等名
      The 15th European Microscopy Congress
    • 発表場所
      Manchester, UK
    • 年月日
      20120916-20120921
  • [学会発表] Resolution improvement of scanning nonlinear dielectric microscopy by measuring the super higher-order nonlinear dielectric constants2012

    • 著者名/発表者名
      N.Chinone, K. Yamasue, Y. Hiranaga, K.Honda, Y. Cho
    • 学会等名
      The 15th European Microscopy Congress
    • 発表場所
      Manchester, UK
    • 年月日
      20120916-20120921
  • [学会発表] Atomic electric dipole moment visualization using scanning nonlinear dielectric microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Y. CHO
    • 学会等名
      11th International Symposium on Ferroic Domains and Micro-to Nanoscopic Structures
    • 発表場所
      Ekaterinburg, Russia
    • 年月日
      20120820-20120824
    • 招待講演
  • [学会発表] Super-higher order nonlinear dielectric microscopy studies on ferroelectric materials and semiconductor devices2012

    • 著者名/発表者名
      N.CHINONE, K. YAMASUE, Y. HIRANAGA, K.HONDA, Y. CHO
    • 学会等名
      International Conference on Nanoscience + Technology 2012
    • 発表場所
      Paris, FRANCE
    • 年月日
      20120723-20120727
  • [学会発表] Simultaneous imaging of current and local dipole moments of Si(111)-(7×7) surface by noncontact scanning nonlinear dielectric microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Kohei Yamasue, Yasuo Cho
    • 学会等名
      15th International Conference on non-contact Atomic Force Microscopy
    • 発表場所
      Cesky Krumlov, Czech Republic
    • 年月日
      20120701-20120705
  • [学会発表] Observation of dipole moments on hydrogen-adsorbed Si(111)-(7×7) surface by non-contact scanning nonlinear dielectric microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Mizuno, Kohei Yamasue, Yasuo Cho
    • 学会等名
      15th International Conference on non-contact Atomic Force Microscopy
    • 発表場所
      Cesky Krumlov, Czech Republic)
    • 年月日
      20120701-20120705
  • [備考] 誘電ナノデバイス研究分野

    • URL

      http://www.d-nanodev.riec.tohoku.ac.jp/

URL: 

公開日: 2014-07-24  

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