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本研究では非接触走査型非線形誘電率顕微鏡の高機能化・高性能化を図り，それを用いて様々な材料の原子分解能計測を行い，原子種の同定も併せて行える事を目的とし，走査型非線形誘電率ポテンショメトリの発明・開発，Si(111)面上で水素吸着サイトの同定，Si(100)面で酸素吸着サイトの同定と吸着のモデルの推定を行った．更にSiC上に作製されたグラフェンのバッファ層とSiC間の界面状態を原子レベルで明らかにした．まだ限られたサンプル種ではあるが，原子種の同定及びそれらの基板との結合状態を明らかにする成果を得た.
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