試料局所領域精密温度測定法の研究

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 24656034
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 佐々木 勝寛 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (00211938)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• キーワード: 電子顕微鏡

研究概要

透過電子顕微鏡内で局所領域の温度を正確に測定することは、透過電子顕微鏡法の悲願である。Au-Si共晶合金の針状試料を用いて数100nm程度の針状試料作製し、透過電子顕微鏡内で測温を試みた。Siウェハ上にAuを蒸着し、ダイアモンド粉末を塗布した後、イオンシャドウ法を用いて試料を作製した。作製した試料を加熱ホルダーに取り付け透過電子顕微鏡内で加熱した。固液界面の移動量から、Au-Si共晶点を基準に5nmあたり10℃の精度で測温出来ることが示された。

研究成果

• [雑誌論文] (2014)
  • 著者名/発表者名: Keita Kobayashi, Ryo Kitaura, Katsuhiro Sasaki, Kotaro Kuroda, Takeshi Saito and Hisanori Shinohara
  • 雑誌名: Materials Transactions 巻: Vol. 55, No. 3 ページ: 461–465
  • DOI: 10.2320/matertrans.MD201308
  • 査読あり
• [雑誌論文] (2013)
  • 著者名/発表者名: Bralee Chayasombat, Yusuke Kimata, Tomoharu Tokunaga, Kotaro Kuroda, and Katsuhiro Sasaki
  • 雑誌名: Microsc. Microanal. 19 巻: S5 ページ: 119–122
  • DOI: 10.1017/S1431927613012464
  • 査読あり
• [雑誌論文] (2013)
  • 著者名/発表者名: Katsuhiro Sasaki, Masashi Hattori, Kentaro Tsuchimoto, Hiroshi Yukawa, Shigeo Arai, Tomoharu Tokunaga, Yoshinori Murata, Takahisa Yamamoto
  • 雑誌名: Journal of Alloys and Compounds 巻: 573 ページ: 192-197
  • DOI: 10.1016/j.jallcom.2013.04.037
  • 査読あり
• [雑誌論文] (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Sasaki , H. Saka, M. Hattori, S. Arai, N. Tanaka and T. Yamamoto
  • 雑誌名: Microsc. Microanal 巻: 18 (Suppl 2) ページ: 1168-1169
  • DOI: 10.1017/S1431927612007696
• [雑誌論文] (2012)
  • 著者名/発表者名: B. Chayasombat, T. Kato, T. Hirayama, T. Tokunaga, K. Sasaki, and K. Kuroda
  • 雑誌名: Journal of Ceramics Society Japan 巻: 120 5 ページ: 181-185
  • DOI: 10.2109/jcersj2.120.181
  • 査読あり
• [雑誌論文] (2012)
  • 著者名/発表者名: B. Chayasombat, T. Kato, T. Hirayama, T. Tokunaga, K. Sasaki, and K. Kuroda
  • 雑誌名: Journal of Ceramics Society Japan 巻: 120 2 ページ: 64-68
  • DOI: 10.2109/jcersj2.120.64
  • 査読あり
• [雑誌論文] (2012)
  • 著者名/発表者名: Kiyonobu Ida, Masanori Tomonari, Yasuyuki Sugiyama, Yuki Chujyo, Tomoharu Tokunaga, Tetsu Yonezawa, Kotaro Kuroda, Katsuhiro Sasaki
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: 520 ページ: 2789-2793
  • DOI: 10.1016/j.tsf.2011.12.024
  • 査読あり
• [学会発表] (2014)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛, 高橋拓也, 荒井重勇, 徳永智春, 山本剛久
  • 学会等名: 顕微鏡学会第70回学術講演会
  • 発表場所: 千葉
  • 年月日: 20140511-13
• [学会発表] (2014)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛, 高橋拓也, 荒井重勇, 山本剛久
  • 学会等名: 日本金属学会春期講演大会2014
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 20140321-23
• [学会発表] (2013)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝寛, 高橋拓也, 荒井重勇, 徳永智春, 山本剛久
  • 学会等名: 日本顕微鏡学会第69回学術講演会
  • 発表場所: 大阪
  • 年月日: 20130520-22
• [学会発表] (2012)
  • 著者名/発表者名: 高橋拓也, 鈴木隆文, 佐々木勝寛, 徳永智春, 山本剛久
  • 学会等名: 日本金属学会2012年秋季講演大会
  • 発表場所: 愛媛
  • 年月日: 20120917-19
• [備考]
  • URL: http://nanophysics.ap.eng.osaka-u.ac.jp/