2013 年度研究成果報告書

新しいフォトリソグラフィーでマイクロ流路の側壁にデバイス機能を付加する

研究課題

研究課題/領域番号	24656066
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	補助金
研究分野	応用物理学一般
研究機関	豊田工業大学
研究代表者	熊谷慎也豊田工業大学, 工学部, 准教授 (70333888)
連携研究者	佐々木実豊田工業大学, 工学部, 教授 (70282100)
研究期間 (年度)	2012-04-01 – 2014-03-31
キーワード	マイクロマシン / マイクロ流路デバイス
研究概要	本研究では、フォトレジストのスプレーコーティングと斜め露光技術を基盤とする3次元リソグラフィー技術を適用して、これまで利用されていなかったマイクロ流路側壁部分にデバイスとしての機能を付加し、新しい3次元MEMSデバイスを作り上げることを目指した。ここで検討したマイクロ流路デバイスは、静電相互作用と流体の流れを利用して、液体中に含まれたパーティクルを分離するデバイスである。シミュレーションを通じてマイクロ流路の設計を行い、ガラス基板上にマイクロ流路デバイスを試作した。