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フッ化カルシウム単結晶について、ひずみ速度一定条件下で行った高温圧縮試験結果を用いて、定常クリープ構成式の定式化を行った。この構成式を用いてフッ化カルシウム単結晶のアニール工程後の残留応力を非線形有限要素解析により求め、さらにこの応力値から複屈折計算を行い光路差を計算した。光路差分布についての解析値を実験値と比較した結果、両者に良好な一致が見られ、残留応力評価サブシステムを検証することができた。完成した半導体リソグラフィー用光学素子評価システムを用いて半導体リソグラフィーに用いられている、波長193 nmのArFエキシマレーザー光源用のフッ化カルシウム単結晶窓材の複屈折評価を行った。
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