| 研究概要 |
高速でナノ構造をガラスまたは樹脂表面に転写する方法としてレーザ加熱成形を提案した.レーザは型表面を直接加熱し,転写後型および基板内部に熱伝導で冷却される.本研究では転写速度のレーザパワー密度と照射速度の影響を具体的に調査した.さらに,Ni電鋳型をロールに巻きつけ,押付用ガラスロールおよび樹脂フィルムの裏面からレーザを照射するロール装置を実際に作製し,樹脂表面への微細構造連続転写に成功した.また,フィルムおよびロールを予備加熱しておくことで,表面の加熱に必要な照射時間を短縮でき,結果的に転写速度を上げることができることを示した.
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