| 研究課題/領域番号 |
24656102
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
道畑 正岐 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (70588855)
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| 研究分担者 |
高谷 裕浩 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (70243178)
林 照剛 大阪大学, 大学院工学研究科, 準教授 (00334011)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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| キーワード | マイクロCMM / 直径計測 / Whispering gallery mode / テーパファイバ |
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| 研究概要 |
近年、微細部品の形状測定のために開発盛んな超高精度座標測定器（マイクロCMM）の主要デバイスである位置検出プローブに関して、そのプローブ探針の直径を測定する新規な技術を提案するものである。プローブ探針の直径を数nmの精度で測定可能な技術の開発が求められている。本研究では、Whispering gallery mode（WGM）という光伝搬モードを利用した直径計測手法を提案している。本研究課題では、WGMの波長スペクトルを測定する装置の構築、球内に光結合するためのテーパファイバ加工システムの構築、およびマイクロ球の直径計測の基礎原理の構築を遂行した。結果、測定のバラツキ±1nm以下を達成できた。
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