2014 年度研究成果報告書

珪砂の水素原子還元による太陽電池用シリコン製造技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号	24656103
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	大阪大学
研究代表者	安武潔大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80166503)
研究分担者	垣内弘章大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (10233660)
研究期間 (年度)	2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード	シリコン / 水素還元 / 二酸化ケイ素 / プラズマエッチング / 高圧力プラズマ
研究成果の概要	低純度珪砂（SiO2）原料から太陽電池用SiH4ガスを直接製造するプロセスの開発を目的として、高圧力水素プラズマを用いた高密度H生成とその評価技術、およびSiO2の高速エッチング技術を開発した。高圧力水素プラズマ中の原子状H密度の定量法を確立することによって、プラズマ条件とH密度およびSiO2エッチング速度の基礎的関係を明らかにした。プロセス条件の最適化を行った結果、SiO2エッチング速度として、これまでに報告されている値の約100倍の速度（303 nm/min）を達成した。
自由記述の分野	機能材料学