多層金属微粒子の製造実現と新機能創発への挑戦的研究

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 24656105
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 兵庫県立大学
• 研究代表者: 生津 資大 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (90347526)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• キーワード: マイクロ・ナノ加工 / 発熱ナノ粒子 / 熱機械物性

研究概要

瞬間発熱ナノ粒子を作製するため，まず，霧化加熱装置の設計を行った．装置開発後，ポリスチレンとシリカナノ粒子から成るスラリーをミスト化し，それを加熱することで多孔質シリカナノ粒子を様々な条件で作製した．電子ビーム照射とプラズマ誘起電解法で多孔質シリカナノ粒子の還元を試みた結果，完全に還元は出来なかったものの，酸素が脱離していく様子を確認できた．今後は可能な限り酸素量を減らした後，多孔質Si粒子の空隙にTiを充填し，発熱機能を持つTi/Siナノ粒子を実現する．

研究成果

• [雑誌論文] Self-propagating Explosive Al/Ni Flakes Fabricated by Dual-source Sputtering to Mesh Substrate
  • 著者名/発表者名: T. Matsuda, S. Inoue, and T. Namazu
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: (In press)
• [学会発表] Micro-sized Exothermic Reactive Particles Fabricated by Sputtering to Mesh Substrates (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Matsuda, S. Inoue, and T. Namazu
  • 学会等名: Proceedings of 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC2013, Hokkaido, 8B-8-4
  • 発表場所: 仙台(日本)
  • 年月日: 2013-11-08
• [学会発表] Self-propagating exothermic reaction in Ni-free multilayer film (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Minamibata, T. Namazu, K. Yoshiki, and S. Inoue
  • 学会等名: Proceedings of the 12th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, ISSP 2013, Kyoto
  • 発表場所: 京都(日本)
  • 年月日: 2013-07-11
• [学会発表] The Size Limit of Al/Ni Multilayer Rectangular Cuboids for Generating Self-propagating Exothermic Reaction on a Si Wafer (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Ito, S. Inoue, and T. Namazu
  • 学会等名: Proceedings of the 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2013, Barcelona
  • 発表場所: バルセロナ(スペイン)
  • 年月日: 2013-06-17
• [学会発表] Low Temperature Crack-less Solder Bonding Technique Using Self-propagating Exothermic Nanolayers (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Morikaku, T. Matsuda, T. Namazu, and S. Inoue
  • 学会等名: Proceedings of 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2012
  • 発表場所: 東京(日本)
  • 年月日: 2012-05-23
• [学会発表] Mechanical Reliability of Micron-size Solder Joints Fabricated by Explosively Reacting Nanolayers (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Fujii, T. Namazu, K. Ohtani, M. Fujii, and S. Inoue
  • 学会等名: Proceedings of 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2012
  • 発表場所: 東京(日本)
  • 年月日: 2012-05-23
• [備考]
  • URL: http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/mse/mse12/index.html