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摺動面平滑化技術の進歩にともない，微小摺動すきまでの潤滑技術が求められるようになってきた．しかし，計測の困難さゆえに潤滑現象の解明は十分進んでいない．潤滑現象の把握には，摺動すきま形状（分布）と摺動面を分離する力の関係を求めることが必須である．本研究では，ナノメートルオーダの摺動すきまの形状計測法を提案することを目的とした．微小機械への適用を念頭に，高いすきま分解能と高い面内分解能を両立させる方法を検討した．そして，エリプソメトリーに基づいた新規な方法を試み，すきま形状の計測が原理的に可能であることを示した．
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