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2013 年度 研究成果報告書

非平衡エネルギーを用いた非加熱形成による透明酸化亜鉛膜の創製

研究課題

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研究課題/領域番号 24656373
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 無機材料・物性
研究機関東北大学

研究代表者

田中 泰光  東北大学, 環境科学研究科, 教授 (50624003)

研究分担者 下位 法弘  東北大学大学院, 環境科学研究科, 准教授 (40624002)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2014-03-31
キーワード酸化亜鉛 / 非平衡反応場 / 亜鉛錯体 / 非加熱プロセス
研究概要

本研究では酸化亜鉛透明導電膜を湿式かつ非加熱で形成する新手法を確立した。ナノサイズ径酸化亜鉛粒子に亜鉛錯体を付与した塗料を作製し、亜鉛イオンを酸化亜鉛粒子周辺に添加した状態で湿式塗膜を形成する。当該塗膜にプラズマ及び電子線による非平衡反応場を付与することで亜鉛イオンを介した酸化亜鉛粒子同士の架橋化を促進する手法で非加熱型連続膜形成方法を見出すことに成功した。特に電子線照射エネルギーの制御により、半導体から半金属~金属状態へ導電性を制御することが可能になった。本プロセスにより、耐熱温度が低いプラスチック等材料への酸化亜鉛膜形成が可能になり、今後は透明性を確保したプロセスを確立する予定である。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2012 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (1件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Controlling the electrical properties of ZnO films by forming zinc and oxide bridges by a plasma and electron-assisted process2012

    • 著者名/発表者名
      Norihiro Shimoi, Takamitsu Harada, Yasumitsu Tanaka, Shun-ichiro Tanaka
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 2 ページ: 022167

    • DOI

      10.1063/1.4732315

    • 査読あり
  • [学会発表] 下位法弘酸化亜鉛の透明導電膜湿式プロセスの研究開発2012

    • 学会等名
      DOWA若手研究者交流会(DOWAエレクトロニクス株式会社)
    • 年月日
      2012-07-05
  • [備考]

    • URL

      http://www.tanaka-toba.jp/

  • [産業財産権] 機能性金属酸化物層及びその製造方法2012

    • 発明者名
      下位法弘
    • 権利者名
      下位法弘
    • 産業財産権種類
      特許特開2013-092320
    • 公開番号
      特開2013-092320
    • 出願年月日
      2012-11-17

URL: 

公開日: 2015-06-25  

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