|
本研究では酸化亜鉛透明導電膜を湿式かつ非加熱で形成する新手法を確立した。ナノサイズ径酸化亜鉛粒子に亜鉛錯体を付与した塗料を作製し、亜鉛イオンを酸化亜鉛粒子周辺に添加した状態で湿式塗膜を形成する。当該塗膜にプラズマ及び電子線による非平衡反応場を付与することで亜鉛イオンを介した酸化亜鉛粒子同士の架橋化を促進する手法で非加熱型連続膜形成方法を見出すことに成功した。特に電子線照射エネルギーの制御により、半導体から半金属～金属状態へ導電性を制御することが可能になった。本プロセスにより、耐熱温度が低いプラスチック等材料への酸化亜鉛膜形成が可能になり、今後は透明性を確保したプロセスを確立する予定である。
|
