|
（１）超臨界流体イオン反応場の創製とその物性測定（診断）：超臨界流体イオン反応場の創製、および、材料表面加工プロセス用の超臨界流体イオン材料表面処理/加工プロセス装置の開発、その物性測定（診断）を行った。放電方法として高圧雰囲気での安定性、制御性に富む誘電体バリア放電をベースにしたプラズマ、および、ナノパルスプラズマを主に採用した。チャンバーは従来のものを改良して用いる。主にXe、CO２系超臨界プラ
ズマクラスタ流体をベース流体として用い、添加ガスにより、酸素、窒素イオン（超臨界流体イオン）の創製を行った。イオン尾の存在などはプローブ法、発光分光法で定性的に確認した。また、臨界点近傍のクラスタリング、密度揺らXe、CO２系超臨界プラ
ズマクラスタ流体ぎとの相関の様子も調べた。
（２）材料表面処理/加工テクノロジーへの応用：以上の新プロセス装置を用い、低温高速超微細加工法（堆積）の開発を行った。具体的には、ダイヤモンドなどのカーボン系堆積実験を行った。プロセス状態の分析、合成物質の同定には、現有のXPS､TEM、FE-SEM、 ラマン分光、IR、プ発光分光、XRDなどを用い、そのプロセスの低温性、高速性などについて明らかにした。
本研究を通じ、超臨界流体イオン（イオンビーム）の創製、診断、及び、その材料表面処理/加工プロセスへの応用を通じての高速性、低温性、高反応性・高効率性、環境親和性などの実証を行い、そのトータルとしての革新的なハイパフォーマンス材料表面加工テクノロジーの可能性を示した。
|
