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ナノ・バイオ材料を基板上に組み込んでマイクロ・ナノデバイスを作製する、融合プロセスの開発に取り組んだ。液中における静電相互作用を利用して、ナノ・バイオ材料を基板表面上にパターニングした。表面修飾法によって基板表面上に正負の電荷パターンを形成した。液中における静電相互作用距離を制御して、引力作用を示す電荷パターン上にナノ・バイオ材料を選択的に配置することに成功した。このような配置パターンを利用して、MEMSデバイスの特性向上を実現した。配置パターンを利用して、MEMSデバイスの特性向上を実現した。
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