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2015 年度 研究成果報告書

Ⅲ族窒化物半導体を用いた中性子検出半導体の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 24686014
研究種目

若手研究(A)

配分区分一部基金
研究分野 応用物理学一般
研究機関静岡大学

研究代表者

中野 貴之  静岡大学, 工学部, 准教授 (00435827)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2016-03-31
キーワード中性子検出 / 半導体検出器 / III族窒化物半導体 / エピタキシャル成長 / 放射線検出特性
研究成果の概要

本研究では、III族窒化物半導体を用いて次世代中性子検出器の開発を行った。中性子捕獲断面積が大きいGd原子とB原子を利用したGdGaNおよびBGaNを提案し検討を行った。GdGaNに関しては、Gd原料の低い飽和蒸気圧などが原因で高品質な結晶成長の実現には至らなかった。BGaNは有機金属気相エピタキシー(MOVPE)法を用いた結晶成長技術の開発によって、BNモル分率が約1%のBGaNの作製を実現した。作製したBGaN薄膜を用いて放射線検出特性評価を行い、中性子検出を実現した。また、デバイス作製に向けたIII族窒化物の放射線検出特性評価を実施し、移動度寿命積などのデータを得るに至った。

自由記述の分野

結晶工学

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公開日: 2017-05-10  

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