(1) 熱処理後の機械特性評価 低温制御斜め蒸着法で作製した銅ナノ要素配列薄膜に対して複数の温度条件下で熱処理を行った.薄膜に対してX線回折を実施した結果,作製された薄膜にアモルファスは存在せず,結晶化度はほぼ100%であり,特定の温度の熱処理によって結晶粒径が急増することを明らかにした.さらに,薄膜に対する疲労き裂進展試験を実施し,熱処理前の薄膜は疲労き裂進展現象を示さず,熱処理後には安定伝ぱすることを確認した.また,ナノ要素集合薄膜のき裂進展速度-ひずみ幅関係の取得にも成功した. (2) 薄膜の新奇力学特性発現メカニズムの解明 薄膜中の銅ナノ要素単体に対するその場観察引張試験についても成功し,その荷重-変位関係を取得することに成功した.その場観察で得た画像から要素局所領域での変形についても検討を行い,ナノ要素単体に関する特異な力学特性発現のメカニズムについても明らかにした.薄膜に対する力学試験から得られた結果と要素単体から得られた結果とを総合的に考察し,その機械特性を階層的的に説明することに成功した.
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