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2014 年度 研究成果報告書

形態制御金属ナノ要素配列薄膜の創製と新奇機械特性の階層型解明

研究課題

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研究課題/領域番号 24686018
研究種目

若手研究(A)

配分区分一部基金
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関京都大学

研究代表者

澄川 貴志  京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (80403989)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード斜め蒸着法 / 銅 / 低温制御動的斜め蒸着装置 / ナノらせん / 薄膜 / 変形 / 破壊 / 疲労
研究成果の概要

これまで困難とされてきた銅(Cu)を用いたナノらせん要素配列薄膜を実現することを目的として、成膜時の基板冷却が可能な動的斜め蒸着装置を開発した。材料の融点に対する基板温度の比を0.22以下にすることで、Cuナノらせん要素の形成に成功した。要素単体に対する負荷試験により、ナノらせん要素は寸法の効果によって高い降伏応力を有する一方で、その弾性特性は形状因子のみで支配されていることを明らかにした。また、Cuナノらせん要素配列薄膜は、その要素形状に起因して大きな破断許容ひずみを有しており、1×10^6サイクルの繰り返し変形では疲労破壊しないことを明らかにした。

自由記述の分野

微小材料強度学

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公開日: 2016-06-03  

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