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2015 年度 研究成果報告書

超平滑な酸素還元触媒を用いた純水中でのGe表面の金属フリー・原子レベル平坦化

研究課題

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研究課題/領域番号 24686020
研究種目

若手研究(A)

配分区分一部基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関大阪大学

研究代表者

有馬 健太  大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (10324807)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2016-03-31
キーワードエッチング / 半導体プロセス / 触媒反応 / グラフェン / 表面工学 / 超精密加工
研究成果の概要

本研究では、金属汚染が一切残留しない条件下でGe単結晶表面を平坦化できる、水中での表面創成プロセスの開発を目指している。本研究期間に、以下に示す知見を得た。
(1)グラフェンに窒素(N)原子をドーピングした。ドーピングは、アンモニア/アルゴン混合ガス中での加熱により行った。(2)電気化学測定により触媒活性を評価した。そして、形成したNドープグラフェンが、白金と通常のカーボン材の中間の活性を持つことを示した。(3)グラフェン触媒をGe表面に散布し、溶存酸素ガスを含む水中に浸漬した。その結果、グラフェン近傍のGe表面が選択的にエッチングされることを見出した。
以上により、本研究の基盤を確立した。

自由記述の分野

表面科学

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公開日: 2017-05-10  

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