研究課題
若手研究(A)
コンタクト抵抗の低減には、グラフェン側の状態密度を上げる手法が重要となる。本研究では、結合機構を正確に理解するために、金属が接触したときのグラフェンの状態密度を量子容量測定から抽出し、コンタクト抵抗率と状態密度の相関性を明確にした。金属種の違いによってグラフェンの状態密度変化は大きく異なることから、コンタクト金属の選択に明確な解を与えることができる。
半導体デバイス工学