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2014 年度 研究成果報告書

半極性GaN/Si上へのInGaN高圧成長及び歪制御によるLDの作製

研究課題

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研究課題/領域番号 24686041
研究種目

若手研究(A)

配分区分一部基金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関名古屋大学

研究代表者

本田 善央  名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (60362274)

研究協力者 久志本 真希  
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワードSi / InGaN / GaN / レーザ / 半極性面
研究成果の概要

本研究では,窒化物半導体中で発光を抑制する内部電界(ピエゾ電界)を抑制可能な半極性面を成長面とし,InGaNを用いた青色~緑色領域のLD作製を目指した.Siの加工基板を用いることで半極性面を得る手法を用いた.GaN結晶はストライプ状に作製している.Si基板から熱膨張係数に起因する大きな引っ張り応力を受るが,ストライプに沿った引っ張り歪となり,一方でストライプに垂直方向に対しては,圧縮歪となる.この歪が原因となり,InGaN発光の偏光方向がc軸と水平になることが分かった.レーザ構造を作製し,強励起で発光測定を行った結果,c軸と水平方向で大きなゲインを得られ,レーザ発振を確認した.

自由記述の分野

半導体工学

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公開日: 2016-06-03  

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