• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2012 年度 実績報告書

SiC積層欠陥制御によるバルク量子井戸熱電半導体の実現

研究課題

研究課題/領域番号 24686078
研究種目

若手研究(A)

研究機関名古屋大学

研究代表者

原田 俊太  名古屋大学, 工学研究科, 助教 (30612460)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード熱電変換材料 / 量子井戸構造 / シリコンカーバイト / 積層欠陥
研究概要

熱エネルギーと、電気エネルギーの相互変換を可能にする熱電変換材料は、エネルギー有効利用の観点から、注目を集めている。しかし、その性能は未だ低いのが現状であり、劇的な性能向上が求められている。最近の研究で、量子井戸構造による電子の閉じ込めによって、飛躍的に熱電変換特性が向上する事が理論的に予測され、実際に、人工超格子薄膜を用いた実験で、通常のバルク試料を遥かに凌ぐ高い性能指数が報告されている。このような量子構造は人工超格子やヘテロ界面で実現されているが、熱電発電を考えるとバルク結晶中に量子構造を構築する必要がある。本研究ではSiC中の積層欠陥に注目をして、バルク結晶に量子効果を付与することを目的としている。
本年度は、SiC溶液成長において窒素を添加することによって形成する積層欠陥の構造を調査し、積層欠陥によって量子井戸構造が形成するかどうかを検討した結果を下記に示す。
(1)窒素添加4H-SiC溶液成長を行うと3C-SiCと同一の積層順序が6レイヤー(1.5nm)続く、Double Shockley型の積層欠陥が導入される。
(2)窒素雰囲気下で6H-SiC溶液成長を行うと、3C-SiCと同一の積層順序が9レイヤー(2.3nm)続く、Triple Shockley型の積層欠陥が導入される。
(3)添加する窒素量が増加すると、積層欠陥の量が増加する。
(4)(0001)から微傾斜を設けた種結晶上での成長では、積層欠陥はある点を起点として形成し、成長に伴い拡大する。
4H-SiC、6H-SiCのバンドギャップはそれぞれ3.26eV、3.02eVであるが、それらと比較して、積層欠陥部分に形成する3C-Sicのバンドギャップは2.23eVと小さいため、積層欠陥部分は量子井戸構造を有していることが予想される。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

当初の計画通り、SiC中の積層欠陥のキャラクタリゼーション、コントロールが可能であることを示すことができた。また、積層欠陥の構造は量子効果を発現できるものであり、本年度以降は物性との相関解明に専念できる。

今後の研究の推進方策

昨年度の研究から、窒素添加によって形成する積層欠陥は、量子構造を形成するのに適切な構造であることが明らかとなった。今後は添加元素は窒素に固定し、積層欠陥の量やキャリア密度と熱電変換特性の相関を解明することに集中する。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (5件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Reduction of Threading Screw Dislocation Density Utilizing Defect Conversion during Solution Growth of 4H-SiC2013

    • 著者名/発表者名
      原田俊太
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 740-742 ページ: 189-192

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/MSF.740-742.189

    • 査読あり
  • [学会発表] 溶液成長過程における貫通らせん転位変換により形成する基底面欠陥の微細構造2013

    • 著者名/発表者名
      原田俊太
    • 学会等名
      2013年春季第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-28
  • [学会発表] 透過電子顕微鏡法によるSiC溶液成長における欠陥挙動解析2012

    • 著者名/発表者名
      原田俊太
    • 学会等名
      SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第21回講演会
    • 発表場所
      大阪市中央公会堂
    • 年月日
      2012-11-20
  • [学会発表] SiC溶液成長における窒素ドープによる積層欠陥の形成2012

    • 著者名/発表者名
      原田俊太
    • 学会等名
      第42回日本結晶成長学会 NCCG-42
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2012-11-10
  • [学会発表] Direct Observation of Defect Evolution during Solution Growth of SiC by Synchrotron X-ray Topography2012

    • 著者名/発表者名
      原田俊太
    • 学会等名
      IUMRS-ICEM 2012
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2012-09-23
  • [学会発表] Possibility for elimination of dislocations in SiC crystal : conversion of threading edge dislocations by solution growth2012

    • 著者名/発表者名
      原田俊太
    • 学会等名
      ECSCRM 2012
    • 発表場所
      Russia, Saint-Peterburg
    • 年月日
      2012-09-05
  • [備考]

    • URL

      http://shuntaharada.web.fc2.com/japanese/index.htm

URL: 

公開日: 2014-07-16  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi