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2014 年度 研究成果報告書

成長界面リアルタイム観察によるシリコンカーバイドの溶液成長ダイナミクスの解明

研究課題

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研究課題/領域番号 24686083
研究種目

若手研究(A)

配分区分一部基金
研究分野 金属生産工学
研究機関東京大学

研究代表者

吉川 健  東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (90435933)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワードシリコンカーバイド / 溶液成長 / 成長界面 / リアルタイム観察 / バンチング
研究成果の概要

本研究では、SiC単結晶の溶液成長時のSiC結晶/溶液間界面における界面現象を明らかにするため、高温の成長界面の観察・計測手法を確立し、結晶成長挙動を調査した。
まず、種結晶を通して白色光と単色レーザー光を照射し界面での反射光を捉えて、10-100nmのステップ群からなる界面構造の二次元視野観察と、2nmのステップ計測を実現した。次いで、成長界面の観察を系統的に行い、成長温度と溶媒系が界面構造に与える影響の調査を進めた。Si、Si-Cr、Fe-Si溶媒間での、ステップの安定性の差異を示した。また4H-SiC上に3C-SiCが核発生する現象を直接観察し、異種多形発生機構を提唱した。

自由記述の分野

高温物理化学

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公開日: 2016-06-03  

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