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2013 年度 実績報告書

電子機能材料としての遷移金属酸窒化物の開拓

研究課題

研究課題/領域番号 24760005
研究機関東京大学

研究代表者

廣瀬 靖  東京大学, 理学(系)研究科(研究院), 助教 (50399557)

キーワード酸窒化物 / エピタキシャル薄膜 / エレクトロニクス / 強誘電体 / 半導体
研究概要

【H25年度の成果】①d0バンド絶縁体をベースとした強誘電体の開発については、PFMを用いてSrTaO2N薄膜の強誘電性の空間分布を詳細に評価した。その結果、ヴァージン状態では数10nmサイズのドメインのみが圧電応答を示し、周囲のマトリクス領域は電場によって圧電応答が誘起されるリラクサー的な挙動を示すことを見出した。第一原理計算を用いてエピタキシャル歪みと結晶構造の安定性を調べた結果、リラクサー的挙動を示すcis型のマトリクス中に、trans型の強誘電相が共存していることが示唆された。②d0バンド絶縁体へのキャリア導入については、高移動度のn型半導体であるアナターゼ型TaON薄膜の合成に成功した。③酸窒化物強誘電体の合成については、固相エピタキシー法を用いてLa0.75Sr0.25MnO2.64N0.36薄膜の合成に成功し、酸化物薄膜よりも高いキュリー温度を示すことを明らかにした。
【期間全体を通じた研究成果】遷移金属酸窒化物を対象として、高品質なエピタキシャル薄膜の合成による①強誘電体、②半導体、③強磁性体の開発を目的に掲げた。並行して、薄膜中のOとNを確度・精度よく定量可能な重イオンERDA測定装置も構築した。①強誘電体については、SrTaO2Nのエピタキシャル薄膜中に古典的な強誘電性とリラクサー的な強誘電性を示す相の共存を見出した。理論計算との比較から、歪みの大きな微小領域でtrans型のOとNの配列が安定化される可能性が示唆された。②半導体については、SrTaO2NおよびアナターゼTaONが、アニオン空孔によって電子をドープすると金属(縮退半導体)化できることを示した。③強磁性体については、LaSrMnO3-xNxの強誘電性を確認し、キュリー温度が酸化物より高いことを見出した。以上より、遷移金属酸窒化物の電子機能材料としてのポテンシャルを明確に示すことができた。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (5件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Heteroepitaxial growth of perovskite CaTaO2N thin films by nitrogen plasma-assisted pulsed laser deposition2014

    • 著者名/発表者名
      Daichi Oka, Yasushi Hirose, Tomoteru Fukumura, and Tetsuya Hasegawa
    • 雑誌名

      Crystal Growth & Design

      巻: 14 ページ: 87-90

    • DOI

      10.1021/cg401176j

    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-Mobility Electron Conduction in Oxynitride: Anatase TaON2013

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Suzuki, Yasushi Hirose, Daichi Oka, Shoichiro Nakao, Tomoteru Fukumura, Satoshi Ishii, Kimikazu Sasa, Hiroyuki Matsuzaki, and Tetsuya Hasegawa
    • 雑誌名

      Chemistry of Materials

      巻: 26 ページ: 976-981

    • DOI

      10.1021/cm402720d

    • 査読あり
  • [学会発表] Nb系ペロブスカイト型酸窒化物薄膜の電気輸送特性2014

    • 著者名/発表者名
      岡大地,廣瀬靖,中尾祥一郎,福村知昭,長谷川哲也
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県)
    • 年月日
      20140317-20140320
  • [学会発表] アナターゼ型TixTa1-xO1+yN1-z薄膜のエピタキシャル成長2013

    • 著者名/発表者名
      鈴木温,廣瀬靖,岡大地,中尾祥一郎,松崎浩之,福谷克之,石井聡,笹公和,関場大一郎,福村知昭,長谷川哲也
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府)
    • 年月日
      20130916-20130920
  • [学会発表] Dielectric Properties of d0 Perovskite Oxynitride ATaO2 N Epitaxial Thin Films2013

    • 著者名/発表者名
      Daichi Oka, Yasushi Hirose, Hideyuki Kamisaka, Tomoteru Fukumura, Seiji Ito, Akira Morita, Hiroyuki Matsuzaki, Katsuyuki Fukutani, Satoshi Ishii, Kimikazu Sasa, Daiichiro Sekiba, Tetsuya Hasegawa
    • 学会等名
      E-MRS 2013 SPRING MEETING
    • 発表場所
      Congress Center - Strasbourg, France
    • 年月日
      20130527-20130531
  • [学会発表] Optical and electrical transport properties of anatase TaON epitaxial thin film2013

    • 著者名/発表者名
      A. Suzuki, Y. Hirose, D. Oka, S. Nakao, H. Matsuzaki, K. Fukutani, S. Ishii, K. Sasa, D. Sekiba, T. Fukumura, T. Hasegawa
    • 学会等名
      E-MRS 2013 SPRING MEETING
    • 発表場所
      Congress Center - Strasbourg, France
    • 年月日
      20130527-20130531
  • [学会発表] A Novel High Mobility Oxynitride Semiconductor: Anatase TaON Epitaxial Thin Film2013

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Suzuki, Yasushi Hirose, Daichi Oka, Shoichiro Nakao, Hiroyuki Matsuzaki, Katsuyuki Fukutani, Satoshi Ishii, Kimikazu Sasa, Daiichiro Sekiba, Tomoteru Fukumura, and Tetsuya Hasegawa
    • 学会等名
      8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics
    • 発表場所
      International Conference Center, Waseda University, Tokyo, Japan
    • 年月日
      20130513-20130515
  • [備考] 東京大学大学院理学系研究科 プレスリリース

    • URL

      http://www.s.u-tokyo.ac.jp/ja/press/2013/50.html

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公開日: 2015-05-28  

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