極微コンタクトにおける金属シリサイド初期形成素過程のその場ＳＴＭ観察

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 24760031
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 豊田工業大学 (2013); 早稲田大学 (2012)
• 研究代表者: 神岡 武文 豊田工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 研究員 (00434332)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• キーワード: シリコン / ニッケル / 走査型トンネル顕微鏡 / イオン銃 / シリサイド / 欠陥 / 核形成

研究概要

ナノスケールSiトランジスタにおける数十ナノメートル級の金属電極形成に関する学理構築を目的とし、金属イオン照射によるシリコン表面改質の素過程を原子論的スケールで調査した。イオン銃と走査型トンネル顕微鏡の複合装置を用いて、シリコン表面に対するニッケルイオン照射過程をその場かつ実時間で観察する技術を構築し、初期シリサイド化が空孔型欠陥の近傍で促進されることを明らかにした。また、同観察技術を立体シリコン構造にも応用し、低エネルギーのイオン衝突により誘起される表面ラフネスをその場で評価する手法を提案および実証した。

研究成果

• [学会発表] Real-time scanning tunneling microscopy observation of Ni ion irradiation process on Si(111) surfaces (2013)
  • 著者名/発表者名: K. Mura, T. Kamioka, T. Kitani, K. Imazu, T. Watanabe
  • 学会等名: 12th international conference on atomically controlled surfaces, interfaces and nanostructures, in conjuction with 21st international colloquium on scanning probe microscopy
  • 発表場所: Ibaraki, Japan
  • 年月日: 20131104-08
• [学会発表] Si(111)表面へのNiイオン照射過程のリアルタイムSTM観察 (2013)
  • 著者名/発表者名: 武良光太郎,神岡武文,木谷哲,今津研太,渡邉孝信
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 京都,日本
  • 年月日: 20130916-20
• [学会発表] シャドーイング効果を利用した低エネルギーイオン誘起損傷のその場STM観察 (2013)
  • 著者名/発表者名: 武良光太郎,神岡武文,礒野文哉,川村祐士,鹿浜康寛,山下広樹,山田康平,小杉山洋希,橋本修一郎,渡邉孝信
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川,日本
  • 年月日: 20130327-30
• [学会発表] In-situ scanning tunneling microscopy of shadowing effects of angled ion implantation on patterned Si surface (2012)
  • 著者名/発表者名: F. Isono, T. Kamioka, Y. Kawamura, Y.Shikahama, H. Yamashita, K. Yamada, K. Mura, H. Kosugiyama, S. Hashimoto, T. Watanabe
  • 学会等名: The 34th International Symposium on Dry Process
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 20121115-16