シード層による酸化スズ系透明導電膜の高機能化

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 24760034
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー
• 研究代表者: 中尾 祥一郎 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー, 実用化実証事業 透明機能材料グループ, 研究員 (50450771)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2014-03-31
• キーワード: 透明導電膜 / 酸化スズ / PLD / エッチング

研究概要

本研究は固相成長(非晶質からの結晶化)と擬エピタキシャル成長を組み合わせる事で、エッチングが用意な酸化スズ薄膜の低抵抗化に成功した。
まず非晶質酸化スズ前駆体薄膜の輸送特性を調べ、非晶質前駆体においても酸素分圧の最適化によって低抵抗化が可能である事を見出した。。
ついで幾つかのシード層候補の中からアナターゼ型TiO2をシード層として用いる事で導電性の改善が認めらる事を見出した。しかしながら固相エピタキシャル成長は起きておらず、その機構は不明である。

研究成果

• [雑誌論文] Carrier generation mechanism and effect of tantalum-doping in transparent conductive amorphous SnO_2 thin films (2014)
  • 著者名/発表者名: S. Nakao, Y. Hirose, T. Fukumura, and T. Hasegawa
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 53 ページ: 05FX04
  • DOI: 10.7567/JJAP.53.05FX04
  • 査読あり
• [学会発表] 非晶質SnO2薄膜の電気伝導 : Ta置換量依存性 (2014)
  • 著者名/発表者名: 中尾祥一郎,廣瀬靖,福村知昭,長谷川哲也
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学相模原キャンパス
  • 年月日: 2014-03-17
• [学会発表] Study on SnO2 Transparent Conductive Thin Films by Pulsed Laser Deposition (2013)
  • 著者名/発表者名: Shoichiro Nakao, Naoomi Yamada, Yasushi Hirose, and Tetsuya Hasegawa
  • 学会等名: 2013 JSAP-MRS Joint Symposia
  • 発表場所: Kyotanabe,Japan
  • 年月日: 2013-09-18
• [学会発表] Fabrication of NbO2 Thin Films Using Solid Phase Crystallizations (2013)
  • 著者名/発表者名: Shoichiro Nakao, Yasushi Hirose, Tomoteru Fukumura , and Tetsuya Hasegawa
  • 学会等名: The 40th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS2013)
  • 発表場所: Kobe, Japan
  • 年月日: 2013-05-21
• [学会発表] Fabrication of Ta-doped SnO2 Thin Films on Unheated Glass Substrates by Pulsed Laser Deposition (2013)
  • 著者名/発表者名: Shoichiro Nakao, Yasushi Hirose, and Tetsuya Hasegawa
  • 学会等名: 8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-8)
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2013-05-13
• [学会発表] 固相成長によるNbO_2薄膜の作製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 中尾祥一郎,廣瀬靖,福村知昭,長谷川哲也
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2013-03-27
• [備考]
  • URL: http://www.newkast.or.jp/innovation/labo/hasegawa_project.html#research2