研究課題
若手研究(B)
本研究の目的は,新しい機能,あるいは高機能を持ち革新的な低電圧駆動を実現する静電駆動型MEMSの構造創成設計を行う事である.この目的を達成するために,静電駆動型MEMSが静電場より静電引力を得る性能と,静電引力により所定の大変形を得る性能を,数値解析手法により同時に評価を行い,その解析結果に基づき,最適構造の創成設計を行う構造最適化法を開発した.
最適設計