|
ステレオ立体視法による研削砥石表面性情の3次元測定システムの開発を目指し，システムのハードウェア構築とプログラムの開発を行った．特に平成26年度では，前年度構築したシステムの改良および画像処理プログラムの開発を行い，実際に砥石表面のトポグラフィの3次元計測および砥粒パラメータの取得を行った．
システムのハードウェア構築では，前年度までに構築した，現有の研削加工機上で研削砥石を取り外すことなく砥石表面の撮像を行える，CCDカメラ1台による撮像システムによる機上撮像装置の改良を行った．カメラ1台での撮像方式の改善を行い，より精度良く撮像できるように光学系の設計製作を行なった．さらに，実際の砥石表面を撮像するために必要なレンズの治具を製作し，機上での連続計測のために機上測定システムの固定用治具の設計製作を行なった．
前年度から継続して，スレテオ視法による3次元計測アルゴリズムの開発を行なってきた．計測精度向上のため，撮像画像を全焦点画像を取得するようなアルゴリズムへの変更を行った．また，ウェーブレット変換をステレオマッチング後の異常値除去に利用することで，さらなる計測精度向上を実現した．
上記の開発システムを用い，実際に現有のウエハ研削装置上で，研削を行い砥石表面の追跡観察を行った．追跡観察結果を用いて研削性能に及ぼす砥石作業面トポグラフィの影響を評価するため，砥粒パラメータを定義し，砥粒の挙動を解析した．
|
