超短パルスレーザによる半導体材料とガラスの直接接合技術

2014 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 24760107
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 岡山大学
• 研究代表者: 岡本 康寛 岡山大学, 自然科学研究科, 准教授 (40304331)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2015-03-31
• キーワード: 超短パルスレーザ / シリコン / ガラス / 微細溶接 / 機械強度 / 接合 / せん断強度 / 半導体材料

研究成果の概要

ピコ秒パルスレーザによるガラスとシリコンの空間自由度の高い接合法を検討した．ガラス側からガラスとシリコンの境界面へレーザ光を照射すると，レーザ光は主にシリコンに吸収されるが，その一部はガラス側で吸収されることも示唆された．そして温度上昇で生じた圧力により，ガラスとシリコンがその境界面で流動することで強固な接合継手を形成でき，適切な時間間隔で適切なパルス数を照射することで，高いせん断強度が得られた．

自由記述の分野

特殊加工