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2013 年度 研究成果報告書

有機酸塩の生成・分解反応を用いた電子デバイスの低温接合に関する研究

研究課題

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研究課題/領域番号 24760267
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関群馬大学

研究代表者

小山 真司  群馬大学, 理工学研究院, 助教 (70414109)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2014-03-31
キーワード微細プロセス技術
研究概要

電子機器の小型化に伴い工業プロセスにおいて、低温接合の検討が進められている。しかしながら電極材料表面は酸化皮膜に覆われており、低温での接合を妨げている。よって低温・低荷重で強度を有する接続部を形成するための経済的な方法が必要とされている。先の研究でSnとCuの接合面をギ酸により改質することで、低温で強度を有する接続部の形成が可能であることを明らかにした。本研究では、Cu/Cu、Al/Al、Al/CuおよびSUS304/Al合金の接合面に対する改質効果を検討した。その結果、CuとAlのギ酸塩の生成と分解反応により接合中に原子面が露出することで、低温で高い接続強度が得られることを明らかにした。

  • 研究成果

    (25件)

すべて 2014 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (17件) 図書 (1件) 産業財産権 (3件) (うち外国 1件)

  • [雑誌論文] Sn/Sn固相接合強度に対する金属塩生成接合法の適用効果2013

    • 著者名/発表者名
      小山真司
    • 雑誌名

      スマートプロセス学会誌

      巻: Vol. 2 ページ: 47-51

    • 査読あり
  • [雑誌論文] A study of solid state bonding strength of nonferrous metals by using metal salt generation bonding method

    • 著者名/発表者名
      Shinji Koyama
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: (in press)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Solid state bonding of Al alloy/SUS304 by metal salt generation bonding technique with acetic acid

    • 著者名/発表者名
      Kota Matsubara, Shinji Koyama, Hideo Nagata, Yoshiyuki Suda, Ikuo Shohji
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: (in press)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Cu/Cu direct bonding by metal salt generation bonding technique with formic acid and citric acid

    • 著者名/発表者名
      Naoki Hagiwara, Shinji Koyama, Ikuo Shohji
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: (in press)

    • 査読あり
  • [学会発表] 金属塩生成接合法によるCu/Cu固相接合条件の緩和2014

    • 著者名/発表者名
      萩原尚基,小山真司,荘司郁夫
    • 学会等名
      シンポジウムMate2014
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2014-02-04
  • [学会発表] 酢酸を用いた金属塩生成接合法によるAl/SUS304の固相接合条件の緩和2014

    • 著者名/発表者名
      松原広太,小山真司,荘司郁夫
    • 学会等名
      シンポジウムMate2014
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2014-02-04
  • [学会発表] A study of solid state bonding strength of nonferrous metals by using metal salt generation bonding method2013

    • 著者名/発表者名
      Shinji Koyama
    • 学会等名
      THERMEC
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • 年月日
      2013-12-04
  • [学会発表] Solid state bonding of Al alloy/SUS304 by metal salt generation bonding technique with acetic acid2013

    • 著者名/発表者名
      Kota Matsubara, Shinji Koyama, Hideo Nagata, Yoshiyuki Suda, Ikuo Shohji
    • 学会等名
      THERMEC
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • 年月日
      2013-12-04
  • [学会発表] Cu/Cu direct bonding by metal salt generation bonding technique with formic acid and citric acid2013

    • 著者名/発表者名
      Naoki Hagiwara, Shinji Koyama, Ikuo Shohji
    • 学会等名
      THERMEC
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • 年月日
      2013-12-04
  • [学会発表] 酢酸を用いた金属塩生成接合法によるCu/Cu固相接合2013

    • 著者名/発表者名
      萩原尚基,小山真司,荘司郁夫
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      金沢
    • 年月日
      2013-09-19
  • [学会発表] ギ酸を用いた金属塩生成接合法による高純度Alの接合界面特性評価2013

    • 著者名/発表者名
      松原広太,小山真司
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      金沢
    • 年月日
      2013-09-19
  • [学会発表] 金属塩生成接合法を用いた電子実装材料の低温固相接合2013

    • 著者名/発表者名
      小山真司
    • 学会等名
      最先端実装技術シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2013-06-07
  • [学会発表] A Study of Bonding Strength of Al/Cu by Metal Salt Generation Bonding Method2012

    • 著者名/発表者名
      S.K. Ting, Hirokazu Hata, Shinji Koyama, Ikuo Shohji
    • 学会等名
      Visual-JW2012
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2012-11-30
  • [学会発表] A Study of Solid State Bonding Strength of Al/Cu by Using Metal Salt Generation Bonding Method on Al Surface2012

    • 著者名/発表者名
      Shinji Koyama, S.K. Ting, Ikuo Shohji, Hirokazu Hata, Naoki Hagiwara, Kota Matsubara
    • 学会等名
      Visual-JW2012
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2012-11-29
  • [学会発表] ギ酸を用いた金属塩生成接合法によるAl合金/SUS304の固相接合2012

    • 著者名/発表者名
      松原広太,小山真司,秦紘一
    • 学会等名
      溶接学会
    • 発表場所
      奈良
    • 年月日
      2012-09-27
  • [学会発表] ギ酸を用いた金属塩生成接合法によるCu/Cu固相接合2012

    • 著者名/発表者名
      萩原尚基,小山真司
    • 学会等名
      溶接学会
    • 発表場所
      奈良
    • 年月日
      2012-09-27
  • [学会発表] 金属塩生成接合法によるAlとCuの固相接合2012

    • 著者名/発表者名
      秦紘一,小山真司,松原広太
    • 学会等名
      溶接学会
    • 発表場所
      奈良
    • 年月日
      2012-09-27
  • [学会発表] A Study on Low Temperature Solid State Bonding of Aluminum by Metal Salt Generation Bonding Method2012

    • 著者名/発表者名
      Shinji Koyama, S.K. Ting, Shun Amari
    • 学会等名
      EAST-WJ2012
    • 発表場所
      Nara
    • 年月日
      2012-09-27
  • [学会発表] Al合金/SUS304のギ酸を用いた金属塩生成接合条件の最適化2012

    • 著者名/発表者名
      松原広太,秦紘一,小山真司
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      愛媛
    • 年月日
      2012-09-18
  • [学会発表] Al/Cu固相接合強度に及ぼすNaOH水溶液の表面改質作用2012

    • 著者名/発表者名
      秦紘一,酒井駿,松原広太,小山真司
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      愛媛
    • 年月日
      2012-09-18
  • [学会発表] クエン酸を用いた金属塩生成接合法によるCu/Cu固相接合2012

    • 著者名/発表者名
      萩原尚基,小山真司
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      愛媛
    • 年月日
      2012-09-18
  • [図書] マイクロ接合・実装技術2012

    • 著者名/発表者名
      小山真司, 他
    • 総ページ数
      606-610
    • 出版者
      産業技術サービスセンター
  • [産業財産権] 金属部材の接合方法2013

    • 発明者名
      小山真司
    • 権利者名
      国立大学法人 群馬大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特許願2013-161047号
    • 出願年月日
      2013-08-02
  • [産業財産権] 金属部材の接合方法2013

    • 発明者名
      小山真司
    • 権利者名
      国立大学法人 群馬大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      国際特許願PCT/JP2013/65200号
    • 出願年月日
      2013-05-31
    • 外国
  • [産業財産権] 金属部材の接合方法2012

    • 発明者名
      小山真司
    • 権利者名
      国立大学法人 群馬大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特許願2012-128266号
    • 出願年月日
      2012-06-05

URL: 

公開日: 2015-06-25  

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