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シリコン窒化膜とシリコン酸化膜を多層構造にし、光導波路中央部縦方向にスロット形状をした梁構造を付加させた素子を作製した。この導波路をリング共振器型形状にしてバイオセンサーとして評価し、腫瘍マーカーの診断に必要な水準と同程度の溶液濃度の検出が可能であることを確認した。
シリコンスロット導波路に梁構造を付加させたリング共振器光変調素子を提案し、0.5V以下の低電圧動作が実現できることをシミュレーションにより見積もった。所望の構造の変調素子の作製工程を構築し、作製した素子にて光変調動作を確認した。シミュレーションと比較して高電圧動作なので、今後は高電圧の要因を探求し更なる動作性能の向上を目指す。
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