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2013 年度 研究成果報告書

常温下熱機械変位方式高速高感度光パワー標準器の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 24760326
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 計測工学
研究機関独立行政法人産業技術総合研究所

研究代表者

雨宮 邦招  独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 主任研究員 (60361531)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2014-03-31
キーワード計測機器 / 光カロリメータ / バイメタル / MEMS / 高速高感度 / 光吸収体
研究概要

バイメタル熱変位センサによる高速高感度な熱型光パワー標準器の実現可能性について検討した。数 mm 角に及ぶ大面積のバイメタルセンサの熱弾性特性を有限要素法数値計算で評価した結果、同サイズの従来型熱電モジュール方式光カロリメータと比べて、等価ノイズパワー、及び応答時定数が一桁以上小さくなる設計を見出した。試作したセンサの評価実験結果もそれを支持するものであった。また熱型光センサの光吸収部として、吸収層付マイクロキャビティ型光吸収体が極低反射率を示す起源を突き止め、新規光吸収体の開発も行った。これらの成果により、高スループットな分光絶対光パワー測定につながるものと期待できる。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2014 2013 2012

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (6件)

  • [雑誌論文] Comprehensive characterization of broadband ultralow reflectance of a porous nickel-phosphorus black surface by numerical simulation2012

    • 著者名/発表者名
      雨宮邦招、福田大治、沼田孝之、田辺稔、市野善朗
    • 雑誌名

      Appl. Opt.

      巻: Vol. 51、No. 29 ページ: 6917-6925

    • DOI

      10.1364/AO.51.006917

    • 査読あり
  • [学会発表] Development of Ultra-Low Reflectance Optical Absorber Using Etched Ion Tracks2014

    • 著者名/発表者名
      雨宮邦招、越川博、前川康成、沼田孝之、木下健一、蔀洋司、市野善朗、座間達也
    • 学会等名
      The 12th International Conference on New Development and Applications in Optical Radiometry (NEWRAD 2014)
    • 発表場所
      Dipoli Congress Center in Otaniemi, Espoo(フィンランド)
    • 年月日
      2014-06-25
  • [学会発表] イオントラックエッチピットを用いた極低反射光吸収体の開発2014

    • 著者名/発表者名
      雨宮邦招、越川博、前川康成、沼田孝之、木下健一、蔀洋司、市野善朗、座間達也
    • 学会等名
      2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県)
    • 年月日
      2014-03-17
  • [学会発表] MEMS方式による光カロリメータの高速高感度化の検討II2014

    • 著者名/発表者名
      雨宮邦招、座間達也
    • 学会等名
      産総研計量標準総合センター2013年度成果発表会
    • 発表場所
      産総研つくば中央(茨城県)
    • 年月日
      2014-01-23
  • [学会発表] 高速高感度光パワー精密計測器としてのMEMS方式カロリメータの検討II2013

    • 著者名/発表者名
      雨宮邦招
    • 学会等名
      第34回日本熱物性シンポジウム
    • 発表場所
      富山県民会館(富山県)
    • 年月日
      2013-11-20
  • [学会発表] MEMS方式による光カロリメータの高速高感度化の検討2013

    • 著者名/発表者名
      雨宮邦招
    • 学会等名
      産総研計量標準総合センター2012年度成果発表会
    • 発表場所
      産総研つくば中央(茨城県)
    • 年月日
      2013-01-24
  • [学会発表] 高速高感度光パワー精密計測器としてのMEMS方式カロリメータの検討2012

    • 著者名/発表者名
      雨宮邦招
    • 学会等名
      第33回日本熱物性シンポジウム
    • 発表場所
      大阪市立大学杉本キャンパス(大阪府)
    • 年月日
      2012-10-03

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公開日: 2015-06-25  

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