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本研究では、超臨界流体中における無機化合物（金属酸化物）形成反応の進行に適した有機金属化合物（有機金属錯体およびアルコキシド誘導体）の分子構造ならびにその反応条件を解明･実証すること、ならびにそれらの知見を金属酸化物薄膜堆積プロセスへ応用することを最終目的とした。
研究進行の結果、反応場温度の上昇および酸化剤の添加による金属酸化物反応の促進、ならびに配位子構造に依存した有機金属錯体の反応場に対する溶解度の増減、等の現象が確認された。更に、それらの知見を利用した薄膜材料堆積の実験により金属酸化物キャパシタ薄膜の試作し、その電荷蓄積に係る機能を評価した。
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