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本研究では、希土類元素を含む化合物に電子線を照射した際に可視光が発生するカソードルミネッセンス現象を利用して、希土類元素を含む化合物の分析法を確立させ、イットリウムをドープしたバリウムジルコネート(BZY)の結晶粒界近傍(微小領域)の元素分析法を確立させることを目指した。CL法を用いれば、ppmレベルで存在する希土類元素の分析が可能であり、特性X線を用いる分析法と異なり、複数の希土類元素が含まれていても、それぞれの希土類元素を識別することが可能であることがわかった。BZYの微小領域の分析は、今回使用した電子線のエネルギー(15 keV)では、電子線が広がるため、困難であった。
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