|
三次元プロトンビーム描画（3D-PBW:Proton Beam Writing）による微細加工では、ビームのエネルギーを連続的に変えて加工深度が滑らかに変化する三次元構造を作製できる小型装置の開発とその広い普及が切望されている。加速レンズ系は各電極への印加電圧の比（加速比）が一定であれば焦点距離も近似的に一定であることから、ビーム焦点が加工試料表面からずれることなく連続的にビームのエネルギーを変化させることが可能である。実験及びシミュレーションによって、100keVから1MeVの範囲におけるどのエネルギーでもビームの焦点が固定されることを実証し、上記のエネルギー連続可変技術を確立した。
|
