10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発

2024 年度 審査結果の所見

• 研究課題/領域番号: 24H00434
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 中区分30:応用物理工学およびその関連分野
• 研究機関: 東京工芸大学
• 研究代表者: 豊田 光紀 東京工芸大学, 工学部, 教授 (40375168)
• 研究分担者: 津留 俊英 山形大学, 地域教育文化学部, 教授 (30306526) ; 浅川 直紀 群馬大学, 大学院理工学府, 教授 (80270924) ; 高田 昌樹 東北大学, 国際放射光イノベーション・スマート研究センター, 教授 (60197100)
• 研究期間 (年度): 2024-04-01 – 2028-03-31

学術的意義、期待される成果

学術的・社会的に極めて重要な内容であり、多層膜ミラー構造のLayer by layer化学エッチング法については独自性が高い。波面収差発生箇所についても十分な精度で特定する手法が確立されており、平面だけではなく、結像系に必要な凹面鏡に対応できるフォトレジスト露光用光学系も新規に提案されている点も高く評価できる。