集積グラフェンNEMS複合機能素子によるオートノマス・超高感度センサーの開発

2017 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 25220904
• 研究機関: 北陸先端科学技術大学院大学
• 研究代表者: 水田 博 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 教授 (90372458)
• 研究期間 (年度): 2013-05-31 – 2018-03-31
• キーワード: マイクロ・ナノデバイス / ナノマシン / ナノ材料 / 電子デバイス・機器

研究実績の概要

グラフェンNEMS(GNEMS)技術により上部アクチュエーション電極を備えたグラフェン振動子（長さ900 nm, 幅500 nm、共振周波数92 MHz)を作製し、共振周波数の変化から質量変化を検出する高感度質量検出センサを開発した。これを用いて、水素分子の物理吸着に伴う約400ゼプトグラムの質量変化を室温で安定に検出することに成功した。また、前年度に開発した抵抗変化検出型GNEMSセンサを用いて、低濃度アセトンガス分子の検出も実施した。これにより、同じグラフェンNEMS構造による抵抗変化・質量変化複合検出型高性能気相センサの基盤技術を確立した。
グラフェン‐グラフェン・ファンデルワールス(vdW)コンタクト型GNEMスイッチ開発においては、グラフェン（制御ゲート）／六方晶窒化ホウ素（hBN; ゲート絶縁膜）／グラフェン（ドレイン）／エアギャップ／グラフェン（ソース）ヘテロ集積構造素子を開発し、室温でS値10.4 mV/decの急峻スイッチングを実現した。また、グラフェンーhBN vdWスイッチ構造において、サブ１Vの低電圧動作と３万回を超える繰り返しスイッチング動作の観測に成功した。
第一原理解析では、アセトン、ベンゼン、アンモニア等の環境ガス分子がグラフェン上に吸着したvdW複合体に対して、外部電界印加時における電荷移動機構を定量的に明らかにした。また原子分解能走査透過型電子顕微鏡によるグラフェンナノリボンエッジと欠陥状態の動的変化を行い、Stone-Wales欠陥に起因する炭素原子鎖の形成現象の観測に初めて成功した。
さらに、上記の超高感度GNEMSセンサ素子とパワーマネジメント用GNEMSスイッチ素子を同一グラフェン膜上に集積化するプロセス技術を開発した。

現在までの達成度 (段落)

29年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

29年度が最終年度であるため、記入しない。

研究成果

• [国際共同研究] サウサンプトン大学(英国)
  • 国名: 英国
  • 外国機関名: サウサンプトン大学
• [国際共同研究] マレーシア国民大学(マレーシア)
  • 国名: マレーシア
  • 外国機関名: マレーシア国民大学
• [国際共同研究] トリニティカレッジダブリン(アイルランド)
  • 国名: アイルランド
  • 外国機関名: トリニティカレッジダブリン
• [雑誌論文] Sub-10 nm graphene nano-ribbon tunnel field-effect transistor (2018)
  • 著者名/発表者名: A. M. M. Hammam, M. E. Schmidt, M. Muruganathan, S. Suzuki and H. Mizuta
  • 雑誌名: Carbon 巻: 126 ページ: 588 - 593
  • DOI: 10.1016/j.carbon.2017.09.091
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Graphene Nanomechanical Resonator Mass Sensing of Mixed H2/Ar Gas (2018)
  • 著者名/発表者名: M. Muruganathan, F. Seto, and H. Mizuta
  • 雑誌名: Int. J. of Automation Technology 巻: 12 ページ: 24 - 28
  • DOI: 10.20965/ijat.2018.p0024 c
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] グラフェンを用いたナノセンサ素子による二酸化炭素分子一個の検出 (2018)
  • 著者名/発表者名: 水田 博，ジアン スン，マノハラン ムルガナタン
  • 雑誌名: 応用物理 巻: 87 ページ: 193 - 197
  • 査読あり
• [雑誌論文] Contrast Differences Between Nitrogen and Helium Ion Induced Secondary Electron Images Beyond Instrument Effects (2018)
  • 著者名/発表者名: M. E. Schmidt, S. Ogawa and H. Mizuta
  • 雑誌名: MRS Advances 巻: 3 ページ: 505 - 510
  • DOI: 10.1557/adv.2018.33
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Structurally Controlled Large-Area 10 nm Pitch Graphene Nanomesh by Focused Helium Ion Beam Milling (2018)
  • 著者名/発表者名: M. E. Schmidt, T. Iwasaki, M. Muruganathan, M. Haque, H. Van Ngoc, S. Ogawa and H. Mizuta
  • 雑誌名: ACS Applied Materials & Interfaces 巻: 10 ページ: 10362 - 10368
  • DOI: 10.1021/acsami.8b00427
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Comparison of Piezoelectric Energy Harvesting Performance using Silicon & Graphene Cantilever Beam (2018)
  • 著者名/発表者名: L. T. Lee, I. Yahya, M. A. Mohamed, J. Kulothungan, M. Muruganathan and H. Mizuta
  • 雑誌名: Microsystem Technologies 巻: in press ページ: in press
  • DOI: 10.1007/s00542-018-3857-7
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] All Two-Dimensional Materials Three-Terminal Graphene Nanoelectromechanical Switch (2018)
  • 著者名/発表者名: N. Huynh Van, M. Muruganathan, J. Kulothungan and H. Mizuta
  • 雑誌名: Nanoscale 巻: in press ページ: in press
  • DOI: 10.1039/C7NR08439K
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Controlled Fabrication of Electrically Contacted Carbon Nanoscrolls (2018)
  • 著者名/発表者名: Marek E. Schmidt, Ahmed M.M. Hammam, Takuya Iwasaki, Teruhisa Kanzaki, Manoharan
  • 雑誌名: Nanotechnology 巻: 29 ページ: in press
  • DOI: 10.1088/1361-6528/aab82c
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Study of dynamic contacts for graphene nano-electro-mechanical switches (2017)
  • 著者名/発表者名: W. Wang, M. Muruganathan, J. Kulothungan and H. Mizuta
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: 56 ページ: 04CK02-1 - 4
  • DOI: 10.7567/JJAP.56.04CK05
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Interaction study of nitrogen ion beam with silicon (2017)
  • 著者名/発表者名: M. E. Schmidt, X. Zhang, Y. Oshima, L. T. Anh, A. Yasaka, T. Kanzaki, M. Muruganathan, M. Akabori, T. Shimoda and H. Mizuta
  • 雑誌名: Journal of Vacuum Science & Technology B 巻: 35 ページ: 03D101-1 - 7
  • DOI: 10.1116/1.4977566
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Nitrogen Gas Field Ion Source (GFIS) Focused Ion Beam (FIB) Secondary Electron Imaging: A First Look (2017)
  • 著者名/発表者名: M. E. Schmidt, A. Yasaka, M. Akabori and H. Mizuta
  • 雑誌名: Microscopy and Microanalysis 巻: 23 ページ: 758 - 768
  • DOI: 10.1017/S1431927617000502
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Sharp switching behaviour in graphene nanoribbon p-n junction (2017)
  • 著者名/発表者名: A. M. M. Hammam, M.E. Schmidt, M. Muruganathan, H. Mizuta
  • 雑誌名: Carbon 巻: 121 ページ: 399 - 407
  • DOI: 10.1016/ j.carbon.2017.05.097
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Tuneable strong optical absorption in a graphene-insulator-metal hybrid plasmonic device (2017)
  • 著者名/発表者名: N. Matthaiakakis, X. Yan, H. Mizuta and M.D.B. Charlton
  • 雑誌名: Scientific Reports 巻: 7 ページ: 7303-1 - 10
  • DOI: 10.1038/s41598-017-07254-0
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Stress Analysis of Perforated Graphene Nano-Electro-Mechanical (NEM) Contact Switches by 3D Finite Element Simulation (2017)
  • 著者名/発表者名: M. A. Mohamed, M. A. Zulkefli, K. S. Siow, B. Y. Majlis, J. Kulothungan, M. Muruganathan and H. Mizuta
  • 雑誌名: Microsystem Technologies 巻: 24 ページ: 1179 - 1187
  • DOI: 10.1007/s00542-017-3483-9
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Three-Dimensional Finite Element Method Simulation of Perforated Graphene Nano-Electro-Mechanical (NEM) Switches (2017)
  • 著者名/発表者名: M. A. Zulkefli, M. A. Mohamed, K. S. Siow, B. Y. Majlis, J. Kulothungan, M. Muruganathan and H. Mizuta
  • 雑誌名: Micromachines 巻: 8 ページ: 236-1 - 16
  • DOI: 10.3390/mi8080236
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [学会発表] CHARACTERISTIC RESONANCE FEATURES OF SOI-CMOS-COMPATIBLE SILICON NANOELECTROMECHANICAL DOUBLY-CLAMPED BEAMS UP TO 330 MHZ (2018)
  • 著者名/発表者名: Y Tsuchiya, Y Feng, C Giotis, N Harada, M Shikida, C Dupre, E Ollier, F Arab Hassani and H Mizuta
  • 学会等名: The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2018), Belfast, Northern Ireland, 21-25 January
  • 国際学会
• [学会発表] Phononic bandgap formation in single nanometer graphene nanomesh (2018)
  • 著者名/発表者名: M. Haque, M. E. Schmidt, M. Muruganathan, I. Katayama, J. Takeda, S. Ogawa, H. Mizuta
  • 学会等名: The 1st JAIST World Conference (JWC2018), Nomi, Japan, 27-28 February
  • 国際学会
• [学会発表] Recent progress of graphene-based nanoelectromechanical (GNEM) contact switches (2018)
  • 著者名/発表者名: J. Kulothungan, V. H. Ngoc, M. Muruganathan, H. Mizuta
  • 学会等名: The 1st JAIST World Conference (JWC2018), Nomi, Japan, 27-28 February
  • 国際学会
• [学会発表] Graphene nano-electro-mechanical (NEM) devices for advanced applications (2018)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, M. E. Schmidt, S. Ogawa and M. Muruganathan
  • 学会等名: The 1st JAIST World Conference (JWC2018), Nomi, Japan, 27-28 February
  • 国際学会
• [学会発表] Graphene nano-electro-mechanical (NEM) devices: Sub-thermal switching, single-molecular sensing and heat phonon engineering (2018)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, M. E. Schmidt, S. Ogawa and M. Muruganathan
  • 学会等名: The 2nd Nippon-Taiwan Workshop on Innovation of Emergent Materials, Nomi, Japan, 1-2 March
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Graphene nano-electro-mechanical (GNEM) devices functionalized by using helium ion beam (2018)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, M. Muruganathan, S. Ogawa and M. Schmidt
  • 学会等名: 2nd international HeFIB conference on Helium and emerging Focused Ion Beams (HeFIB2018), Dresden, Germany, June 11 - 13
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] グラフェンNEMS上でのシングルナノスケールフォノニック結晶の作製 (2018)
  • 著者名/発表者名: 水田 博, Marek Schmidt, Mayeesha Haque, 小川 真一, 衛藤 宏明, Manoharan Muruganathan
  • 学会等名: 応用物理学会フォノンエンジニアリング研究グループ JST「微小エネ」領域合同研究会, 熱海, 7月14日-15日
• [学会発表] 励起状態を考慮した第一原理計算によるダイヤモンド B-V-1 センターの電子状態解析 (2018)
  • 著者名/発表者名: 井上 顧基, 国崎 愛子, 小寺 哲夫, マノハラン ムルガナタン, 水田 博
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス, 福岡, 9月5日-8日
• [学会発表] グラフェン振動子を用いたアトグラムレベルの質量変化検出 (2018)
  • 著者名/発表者名: 瀬戸 文博, マノハラン ムルガナタン, 水田 博
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス, 福岡, 9月5日-8日
• [学会発表] Low pull-in operation and high switching endurance observed for a graphene-hBN van der Waals contact NEMS switch (2018)
  • 著者名/発表者名: Huynh Van Ngoc, Jothiramalingam Kulothungan, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス, 福岡, 9月5日-8日
• [学会発表] Effect of surface condition on ion induced secondary electron contrast in carbon-based samples (2018)
  • 著者名/発表者名: Marek E. Schmidt, Shinichi Ogawa, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス, 福岡, 9月5日-8日
• [学会発表] Single-nanometer graphene patterning with helium ion beam for extreme sensing and phonon engineering applications (2018)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Mizuta, Marek E. Schmidt, Mayeesha Haque, Shinichi Ogawa, Manoharan Muruganathan
  • 学会等名: シンポジウム「GFIS(電界電離ガスイオン源)・先端イオン源顕微鏡技術とその材料・デバイス研究開発への応用」第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス, 福岡, 9月7日
  • 招待講演
• [学会発表] サスペンデッドグラフェンナノリボンのデバイス構造の作製 (2018)
  • 著者名/発表者名: 水谷 加奈子、張 暁賓、マレク シュミット、マノハラン ムルガナタン、水田 博、大島 義文
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス, 福岡, 2017年9月5日-8日
• [学会発表] グラフェンNEMS: 単分子センシングから熱フォノン制御応用まで (2018)
  • 著者名/発表者名: 水田 博，Jian Sun, Huynh Van Ngoc, Marek E. Schmidt, 小川 真一, Manoharan Muruganathan
  • 学会等名: 東海シンポジウム：機能性ナノ構造体の構築とその利用 - 新規産業創出を目指して -, 名古屋国際会議場, 名古屋,1月11日・12日
  • 招待講演
• [学会発表] Three-Terminal Graphene Nanoelectromechanical (NEM) Switch (2018)
  • 著者名/発表者名: Manoharan Muruganathan, Huynh Van Ngoc, Jothiramalingam Kulothungan, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会, 早稲田大学西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場. 東京, 3月17日-20日
• [学会発表] Probing graphene nanomesh fidelity by electrical transport measurement (2018)
  • 著者名/発表者名: Marek Edward Schmidt, Takuya Iwasaki, Manoharan Muruganathan, Mayeesha Haque, Ngoc V. Huynh, Shinichi Ogawa, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会, 早稲田大学西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場. 東京, 3月17日-20日
• [学会発表] グラフェンナノリボンを用いたN2/アセトン混合ガスの検出 (2018)
  • 著者名/発表者名: 谷内 翔, 武富 康平, 酒井 啓, 齋藤 修平, ムルガナタン マノハラン, 水田 博
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会, 早稲田大学西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場. 東京, 3月17日-20日
• [学会発表] プレーナー型グラフェン共鳴トンネルFETの第一原理解析 (2018)
  • 著者名/発表者名: 鈴木 俊英, ムルガナタン マノハラン, シュミット マレク, 水田 博
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会, 早稲田大学西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場. 東京, 3月17日-20日
• [学会発表] グラフェン狭窄素子の輸送特性のメカニズム (2018)
  • 著者名/発表者名: 岩崎 拓哉, Wang Zhongwang, Muruganathan Manoharan, 水田 博
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会, 早稲田大学西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場. 東京, 3月17日-20日
• [学会発表] Stacked nanocrystalline graphene-based Nano-Electro-Mechanical (NEM) contact switch architecture with low pull-in voltage (2018)
  • 著者名/発表者名: Jothiramalingam Kulothungan, Marek E. Schmidt, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会, 早稲田大学西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場. 東京, 3月17日-20日
• [学会発表] 部分酸化グラフェンの電気特性 (2018)
  • 著者名/発表者名: 佐々木 和成, ムルガナタン マノハラン, 水田 博
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会, 早稲田大学西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場. 東京, 3月17日-20日
• [学会発表] グラフェン振動子を用いたゼプトグラムレベルの質量変化検出 (2018)
  • 著者名/発表者名: 瀬戸 文博, ムルガナタン マノハラン, 宮下 寛也, 水田 博
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会, 早稲田大学西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場. 東京, 3月17日-20日
• [学会発表] Suspension of large, electrically contacted graphene for sub-15-nm phononic crystal patterning (2018)
  • 著者名/発表者名: Marek Edward Schmidt, Mayeesha Haque, Manoharan Muruganathan, Ikufumi Katayama, Jun Takeda, Shinichi Ogawa, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会, 早稲田大学西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場. 東京, 3月17日-20日
• [学会発表] Single carrier transport in monolayer graphene nano-devices (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Iwasaki, M. Muruganathan, H. Mizuta
  • 学会等名: IV Bilateral Italy-Japan Seminar Innovative Solutions for Single Atom Applications in Photonics and Nanoelectronics,Colico, Lago di Como, Italy, 2-4 May
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Physisorption doping induced multiple dots behavior in graphene nanoconstrictions (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Iwasaki, Z. Wang, J. Reynolds, M. Muruganathan, H. Mizuta
  • 学会等名: Silicon Nanoelectronics Workshop, Kyoto, Japan, 4-5 June
  • 国際学会
• [学会発表] Single carrier transport in graphene nanostructure (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Iwasaki, Z. Wang, M. Muruganathan, H. Mizuta
  • 学会等名: EMN Meeting on Quantum, Vienna, Austria, 18-22 June, 2017
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Multifunctional graphene nano-electromechanical (GNEM) devices for Extreme Sensing (2017)
  • 著者名/発表者名: Manoharan Muruganathan, D. Kato, F. Seto, J. Sun, M. E. Schmidt, and H. Mizuta
  • 学会等名: Advances in Functional Materials International Conference, University of California, Los Angeles, USA, 14-17 August
  • 国際学会
• [学会発表] Graphene nano-electro-mechanical (NEM) devices for extreme sensing applications (2017)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, F. Seto, M. E. Schmidt, H. Van Ngoc and M. Muruganathan
  • 学会等名: Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD 2017) Workshop 2 "Simulation of Advanced Sensors", Kamakura, 6 September
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Sub 0.5 V bias voltage operation of a triple-topgate graphene tunnel field effect transistor (2017)
  • 著者名/発表者名: S. Suzuki, A. Hammam, M. E. Schmidt, M. Muruganathan and H. Mizuta
  • 学会等名: Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD 2017), Kamakura, Japan, 7-9 September
  • 国際学会
• [学会発表] Sub-10-nm Pitch Nanopore Array in Graphene by Helium Ion Beam Milling for Heat Phonon engineering (2017)
  • 著者名/発表者名: M. E. Schmidt, T. Kanzaki, M. Haque, T. Iwasaki, M. Muruganathan, S. Ogawa and H. Mizuta
  • 学会等名: HybridQS Workshop, Miyagi-Zao, Japan, 10-13 September
  • 国際学会
• [学会発表] Observation of Single Carrier Transport Behavior in Graphene Nano Constrictions (2017)
  • 著者名/発表者名: Z. Wang, T. Iwasaki, M. Muruganathan and H. Mizuta
  • 学会等名: 43rd International Conference on Micro and Nanoengineering (MNE 2017), Braga, Portugal, 18-22 September
  • 国際学会
• [学会発表] Tip-Enhanced Raman characterization of He-ion-irradiated CVD graphene channels (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Zelai, T. Iwasaki, S. Boden, H. Chong, H. Mizuta, and Y. Tsuchiya
  • 学会等名: 43rd International Conference on Micro and Nanoengineering (MNE 2017), Braga, Portugal, 18-22 September
  • 国際学会
• [学会発表] RF characterisation of CMOS-compatible Silicon-on-Insulator Nanoelectromechanical Resonators (2017)
  • 著者名/発表者名: Y. Tsuchiya, N. Harada, C. Gortis, J. Lamb, F. Arab Hassani, M. Shikida, C. Dupre, E. Ollier, S. T Bartsch, A. M. Ionescu, and H. Mizuta
  • 学会等名: 43rd International Conference on Micro and Nanoengineering (MNE 2017), Braga, Portugal, 18-22 September
  • 国際学会
• [学会発表] Tunable Total Optical Absorption in a Metal-Insulator-Graphene Plasmonic Device (2017)
  • 著者名/発表者名: N. Matthaiakakis, H. Mizuta and M. D. B. Charlton
  • 学会等名: Graphene Week 2017, Athens, 25 - 29 September
  • 国際学会
• [学会発表] Single-nanometer functional graphene devices patterned with helium ion beam (2017)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, M. E. Schmidt, T. Kanzaki, S. Ogawa, M. Muruganathan
  • 学会等名: AVS 64th International Symposium & Exhibition, Tampa, 30 Oct - 3 Nov
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Contrast Differences Between Nitrogen and Helium Ion Induced Secondary Electron Images beyond Instrument Effects (2017)
  • 著者名/発表者名: M.E. Schmidt, S. Ogawa and H. Mizuta
  • 学会等名: 2017 MRS Fall Meeting & Exhibition, Boston, 26th November - 1st December
  • 国際学会
• [学会発表] Downscaled graphene nano-electro-mechanical (NEM) devices for extreme sensing and phonon engineering applications (2017)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, H. Van Ngoc, M. E. Schmidt, M. Haque, T. Iwasaki, S. Ogawa, M. Muruganathan
  • 学会等名: 2nd International Carbon Materials Conference & Exhibition (Carbontech2017), Beijing, 18-19 December
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Graphene-2D Materials Nanoelectromechanical (NEM) Devices and Its Extreme Sensitivity (2017)
  • 著者名/発表者名: Manoharan Muruganthan, Huynh Van Ngoc, Jothiramalingam Kulothungan, Marek E. Schmidt, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: Nanotech Middle East Conference, Dubai, U.A.E Dec 4 - 6
  • 国際学会
• [図書] Ion Beams (2018)
  • 著者名/発表者名: Nitrogen Ion Microscopy
  • 総ページ数: 29
  • 出版者: InTech
  • ISBN: 978-953-51-6090-8
• [図書] NEMS技術とフォノンエンジニアリング, 『マイクロ・ナノスケールの次世代熱制御技術 フォノンエンジニアリング』 (2017)
  • 著者名/発表者名: 水田博, マレク シュミット, 小川真一, マノハラン ムルガナタン
  • 総ページ数: 9
  • 出版者: NTS出版
  • ISBN: 978-4-86043-509-7
• [備考] 水田教授が文部科学大臣表彰 科学技術賞受賞
  • URL: https://www.jaist.ac.jp/whatsnew/press/2018/04/11-1.html
• [備考] 原子層材料グラフェンを用いたナノセンサー素子で二酸化炭素分子一個の検出に成功
  • URL: https://www.jaist.ac.jp/whatsnew/press/2016/04/18-1.html
• [備考] わずか炭素２原子層厚のグラフェン膜を使った電子機械スイッチの動作原理検証に成功
  • URL: https://www.jaist.ac.jp/whatsnew/press/2014/08/post_413.html
• [備考] JWC2018でExcellent poster awardを受賞
  • URL: http://www.jaist.ac.jp/ms/labs/mizuta-lab/kulothungan-jothiramalingamjwc2018best-poster-award.html