| 研究課題/領域番号 |
25220904
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| 研究種目 |
基盤研究(S)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
水田 博 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 教授 (90372458)
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| 連携研究者 |
ムルガナタン マノハラン 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 講師 (20639322)
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| 研究協力者 |
スン ジアン 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 博士研究員
フィン ヴァン・ゴク 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 博士研究員
シュミット エドワード・マレク 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 博士研究員
チョン ハロルド サザンンプトン大学, 物理科学工学部, 准教授
土屋 良重 サザンプトン大学, 物理科学工学部, 講師
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| 研究期間 (年度) |
2013-05-31 – 2018-03-31
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| キーワード | グラフェン / NEMS / センサ / スイッチ / 単分子検出 / ゼプトグラム / サブサーマルスイッチング |
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| 研究成果の概要 |
原子層材料グラフェンを用いたナノ電子機械システム（GNEMS）作製技術と原子スケールシミュレーションを構築し、グラフェン表面上に物理吸着したCO2単分子による電気抵抗変化を室温で高速に検出するGNEMSセンサと、吸着分子による質量変化をゼプトグラム(10E-21 g)レベルで検出するGNEMSセンサの開発に初めて成功した。さらに、従来MEMS技術では困難であった～1 Vの低電圧でのサブサーマルスイッチング（S値～10 mV/dec）と素子微細化を同時に実現する新奇GNEMSスイッチを開発した。
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| 自由記述の分野 |
ナノエレクトロニクス、NEMS
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