研究課題/領域番号 |
25249011
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研究機関 | 東京農工大学 |
研究代表者 |
安藤 泰久 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00344169)
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研究分担者 |
中野 美紀 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (20415722)
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研究期間 (年度) |
2013-10-21 – 2018-03-31
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キーワード | ナノストライプ / トラクションドライブ / 摩擦力分布 / ナノパターン / 潤滑特性 / AFM |
研究実績の概要 |
ナノストライプ構造を利用して、薄膜流体潤滑技術の高度化を進めることを目的として、以下の検討などを行った。 ナノストライプ表面の潤滑特性をミクロスケールで明らかにするため、プローブとして光学レンズを備えたカンチレバーをAFM に取り付け,ヘリングボーン溝パターンと直線パターンの2種類のナノストライプ表面の摩擦力分布測定を行い行った。その結果、ヘリングボーン溝パターンでは、潤滑油が集まるVの字の頂点の位置に沿って摩擦が低下すること、直線溝パターンでは溝に対して直交方向に摩擦したときの摩擦係数が低くなることが明らかとなった。ただし、前者の摩擦力分布では、溝の配置よりも不規則な摩擦係数の分布が目立っていたことから、ナノスケールの溝の影響が潤滑特性に大きな影響を与えていることを確認した。 摩擦係数を低下させるだけでは無く、安定して高い摩擦係数を得る技術の実現に向けて、ナノストライプパターンを組み合わせたときの摩擦特性を調査した.ナノストライプ基板を薄膜Siウェハ上に作製し,それぞれのナノストライプの溝が直交する方向、平行な方向になるように、2つの円筒面に貼り付けた. 平行な方向については、溝が摺動方向にも平行になる配置、摺動方向に対しては直交する(溝がお互いに乗り上げる)方向の2通りとした。その結果、ナノ溝を直交させて摩擦したとき,及びナノ溝がかみ合う向きに配置してナノ溝同士が乗り越える向きに摩擦したときの摩擦係数が高くなることを明らかにした。この結果は、トラクションドライブへの応用が期待出来る。
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現在までの達成度 (段落) |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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今後の研究の推進方策 |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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