| 研究課題/領域番号 |
25249042
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 富山大学 |
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研究代表者 |
前澤 宏一 富山大学, 大学院理工学研究部(工学), 教授 (90301217)
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| 研究分担者 |
石井 仁 豊橋技術科学大学, その他部局等, その他 (20506175)
安藤 浩哉 豊田工業高等専門学校, その他部局等, 教授 (30212674)
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| 連携研究者 |
森 雅之 富山大学, 大学院理工学研究部, 准教授 (90303213)
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| 研究期間 (年度) |
2013-05-31 – 2017-03-31
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| キーワード | 共鳴トンネル / テラヘルツ / MEMS / サンプリング / 異種材料集積 / InP / パルス / 発振器 |
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| 研究成果の概要 |
本研究は、THz 動作が可能な電子デバイスである共鳴トンネル素子(RTD) と微小電子機械システム(MEMS)、これらを統合する異種材料デバイス集積技術を基盤として、全電子式のTHzスペクトロスコピーをオンチップで実現するものである。ここでは、そのための要素技術の検討、プロトタイプデバイスの試作を行った。具体的には、RTDパルス生成器、MEMS位相シフタ、広帯域可変発振器などの信号源や、超再生検波などの検出器、それらを合わせたTHzサンプリング回路の試作を行い、その基本動作を実証した。
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| 自由記述の分野 |
半導体デバイス工学
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