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水の窓領域で反射率が高いガラスのキャピラリでパルス放電生成プラズマから放射される軟X線を集束し、生きている細胞内小器官で起きている動的な変化を観察可能にする顕微法を開発するため、軟X線顕微鏡用小型プロトタイプ光源を製作した。キャピラリを用いて大気圧下に取り出した軟X線の出力を計測するAXUVシリコンフォトダイオード検出器の校正を、大阪大学レーザーエネルギー学研究センターのEUV Database装置付属の軟X線分光器を用いて行った。プラズマ生成材料として選んだ炭素(C)、ジルコニウム(Zr)、モリブデン(Mo)に対して放射スペクトルを測定し、AlとMylarの薄膜フィルターを透過する波長7nm以下と波長域2.28～4.36 nmの水の窓領域の軟X線スペクトル分布から校正データを取得した。電極間電圧が約6kVのシングルキャピラリを用いた実験で、炭素(C)とジルコニウム(Zr)のターゲットに対して放電生成プラズマからの軟X線を大気圧下で計測した結果、パルス放電のみでは出力が小さいので、パルスレーザーアシスト放電により軟X線を計測すると、レーザーのみを用いた場合に比較して放電との複合により出力が向上したが、生体細胞内の小器官を観察するには不十分であったので、電極をモリブデン(Mo)へ変更し、アシスト用レーザーとパルス同期を制御して出力の向上を図った。さらに、水分を含む環境下で生きている細胞内の小器官の観察が可能な小型軟X線光源実現に向けて、放電ノイズを低減するためのシールド構造やキャピラリ等のオプティクスの変更など種々の改良を行ったが光源出力の不足を解消できなかった。そこで、軟X線の集光による出力向上について検討し、集光ミラーのプロトタイプを設計・製作した。
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